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xinsw银虫 (小有名气)
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[求助]
硅烷气体如何安全使用 已有1人参与
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| 我们课题组准备用硅烷,CVD法做硅源,温度大概在400-1300度,但是这种气体有毒,而且易燃易爆,请使用过的朋友介绍一下使用经验,非常感谢!!! |
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