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xinsw银虫 (小有名气)
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硅烷气体如何安全使用 已有1人参与
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| 我们课题组准备用硅烷，CVD法做硅源，温度大概在400-1300度，但是这种气体有毒，而且易燃易爆，请使用过的朋友介绍一下使用经验，非常感谢！！！ |
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