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sxchcgg872铜虫 (小有名气)
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磁控溅射制备的氧化钇薄膜热处理出现裂纹 已有2人参与
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各位老师，您们好！我通过磁控溅射制备了50um厚的氧化钇薄膜，基底为氧化铝，制备后SEM发现200倍下薄膜表面和截面无裂纹，然后我将样品放到马弗炉中热处理，炉子不抽真空，不通气氛，关闭炉体，开始加热，升温速度和降温速度均是1度每分钟，在1100度保温1小时然后开始降温至室温，取出来后SEM发现薄膜表面出现了裂纹，希望您能指导下如何避免裂纹的出现？谢谢您！ 发自小木虫Android客户端 |
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 薄膜制备与特性 |
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【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
sxchcgg872: 金币+25, ★有帮助, 太感谢老师了！！！ 2015-12-20 15:52:48
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sxchcgg872: 金币+25, ★有帮助, 太感谢老师了！！！ 2015-12-20 15:52:48
| 你好，我最近在看氧化钇抗等离子腐蚀的文章，其中有些是关于氧化钇涂层的文章和专利，热膨胀系数不同是裂纹裂纹产生的主要原因，Y2O3涂层600℃（7—8 × 10− 6/K），Al2O3基体（7.1 × 10− 6/K），不过，我看到有篇专利说能解决这个问题，现上传给你，希望对你有用 |
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2015-12-20 15:25:14, 216.41 K
5楼2015-12-20 15:26:23
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2楼2015-12-19 22:06:56
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在论坛看见一个人分享过氧化铝基底的热膨胀系数是随温度变化的，氧化钇的木有查到这资料，请问这两种材料，氧化铝基底的膨胀系数与氧化钇要达到啥关系才会木有裂纹呢， 发自小木虫Android客户端 |
3楼2015-12-20 07:50:38
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7楼2015-12-20 22:00:00
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