| 查看: 1566 | 回复: 14 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
sxchcgg872铜虫 (小有名气)
|
[求助]
磁控溅射制备的氧化钇薄膜热处理出现裂纹 已有2人参与
|
||
|
各位老师，您们好！我通过磁控溅射制备了50um厚的氧化钇薄膜，基底为氧化铝，制备后SEM发现200倍下薄膜表面和截面无裂纹，然后我将样品放到马弗炉中热处理，炉子不抽真空，不通气氛，关闭炉体，开始加热，升温速度和降温速度均是1度每分钟，在1100度保温1小时然后开始降温至室温，取出来后SEM发现薄膜表面出现了裂纹，希望您能指导下如何避免裂纹的出现？谢谢您！ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 本帖已获得的红花（最新10朵）
sxchcgg872» 猜你喜欢
求调剂
已经有3人回复
-
265求调剂
已经有4人回复
-
085700资源与环境308求调剂
已经有6人回复
-
一志愿吉林大学材料学硕321求调剂
已经有12人回复
-
286分人工智能专业请求调剂愿意跨考！
已经有3人回复
-
329求调剂
已经有5人回复
-
申请回稿延期一个月，编辑同意了。但系统上的时间没变，给编辑又写邮件了，没回复
已经有4人回复
-
材料学硕318求调剂
已经有5人回复
-
一志愿中国海洋大学，生物学，301分，求调剂
已经有6人回复
-
081700化工学硕调剂
已经有3人回复
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
sxchcgg872: 金币+25, ★有帮助, 太感谢老师了！！！ 2015-12-20 15:52:48
感谢参与，应助指数 +1
sxchcgg872: 金币+25, ★有帮助, 太感谢老师了！！！ 2015-12-20 15:52:48
| 你好，我最近在看氧化钇抗等离子腐蚀的文章，其中有些是关于氧化钇涂层的文章和专利，热膨胀系数不同是裂纹裂纹产生的主要原因，Y2O3涂层600℃（7—8 × 10− 6/K），Al2O3基体（7.1 × 10− 6/K），不过，我看到有篇专利说能解决这个问题，现上传给你，希望对你有用 |
» 本帖附件资源列表
-
欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : 214-Plasma-resistant_member.pdf
2015-12-20 15:25:14, 216.41 K
5楼2015-12-20 15:26:23
钦点木瓜
金虫 (著名写手)
- 应助: 104 (高中生)
- 金币: 2810.4
- 散金: 1690
- 红花: 22
- 帖子: 1584
- 在线: 125.6小时
- 虫号: 1043205
- 注册: 2010-06-17
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2015-12-19 22:06:56
sxchcgg872
铜虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 200.2
- 散金: 35
- 红花: 3
- 帖子: 198
- 在线: 28.3小时
- 虫号: 3787947
- 注册: 2015-04-04
- 专业: 功能陶瓷
|
在论坛看见一个人分享过氧化铝基底的热膨胀系数是随温度变化的，氧化钇的木有查到这资料，请问这两种材料，氧化铝基底的膨胀系数与氧化钇要达到啥关系才会木有裂纹呢， 发自小木虫Android客户端 |
3楼2015-12-20 07:50:38
sxchcgg872
铜虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 200.2
- 散金: 35
- 红花: 3
- 帖子: 198
- 在线: 28.3小时
- 虫号: 3787947
- 注册: 2015-04-04
- 专业: 功能陶瓷
4楼2015-12-20 07:51:49
