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sxchcgg872

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射制备的氧化钇薄膜热处理出现裂纹 已有2人参与

各位老师,您们好!我通过磁控溅射制备了50um厚的氧化钇薄膜,基底为氧化铝,制备后SEM发现200倍下薄膜表面和截面无裂纹,然后我将样品放到马弗炉中热处理,炉子不抽真空,不通气氛,关闭炉体,开始加热,升温速度和降温速度均是1度每分钟,在1100度保温1小时然后开始降温至室温,取出来后SEM发现薄膜表面出现了裂纹,希望您能指导下如何避免裂纹的出现?谢谢您!

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sxchcgg872

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-12-20 22:02:01
另外,不懂你为什么要溅射这厚的薄膜用的还是磁控,感觉有点划不来...

老师说的啊,要50um,对了,我这种出现SEM发现膜层表面出现裂纹情况,要看线膨胀系数,还是热膨胀系数啊,发现热膨胀系数分为体积变化系数和线膨胀变化系数
9楼2015-12-23 11:02:35
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
sxchcgg872: 金币+5, 有帮助 2015-12-20 07:53:53
50um的薄膜还算是比较厚的,基本肉眼都可以看出来了。热处理后出现的裂纹,你可以从以下几个方面来考虑,1薄膜和基底晶格匹配如何?2两者的热膨胀系数如何?
用绳命来搞科研
2楼2015-12-19 22:06:56
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sxchcgg872

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-12-19 22:06:56
50um的薄膜还算是比较厚的,基本肉眼都可以看出来了。热处理后出现的裂纹,你可以从以下几个方面来考虑,1薄膜和基底晶格匹配如何?2两者的热膨胀系数如何?

在论坛看见一个人分享过氧化铝基底的热膨胀系数是随温度变化的,氧化钇的木有查到这资料,请问这两种材料,氧化铝基底的膨胀系数与氧化钇要达到啥关系才会木有裂纹呢,

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3楼2015-12-20 07:50:38
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sxchcgg872

铜虫 (小有名气)

送红花一朵
师兄也说与热膨胀系数有关,可不知道具体是啥关系

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4楼2015-12-20 07:51:49
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