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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 钛靶溅射不出来
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涛涛来奋斗

木虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by hs_77 at 2015-12-30 09:33:51
短路就是你溅射的出来的金属粉末夹在阴阳间的缝隙里面了，你要把阴阳极间的金属粉末清干净。开车前用万用表测一下阴阳极间的电阻。...

不好意思，因为我刚接触磁控溅射，所以有很多地方不懂，阴阳极空隙是什么，指的是啥呀

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加油！
11楼2015-12-31 09:25:02
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zbnet

金虫 (小有名气)
直接用万用表测量靶材表面与外屏蔽罩是否导通，若不想破坏真空的话，直接把直流线拔掉，测量插线部位的绝缘尼龙内部与外部是否导通，一个效果。导通就说明你的短路了，要及时清理屏蔽罩与靶材上面的残留物。

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Don't start your day with the broken pieces of yesterday!
12楼2015-12-31 09:34:36
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zbnet

金虫 (小有名气)
另外，看你的描述不像短路问题，毕竟还能起辉，可能是你的功率太小了，新靶用一次也看不出来表面有溅射的痕迹吧

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Don't start your day with the broken pieces of yesterday!
13楼2015-12-31 09:37:43
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
liaofang20: 金币+1 2016-01-05 08:12:33
引用回帖:
11楼: Originally posted by 涛涛来奋斗 at 2015-12-31 09:25:02
不好意思，因为我刚接触磁控溅射，所以有很多地方不懂，阴阳极空隙是什么，指的是啥呀
...

这个我真不知道怎么说了，不知道你们公司在哪里；要是方面我给你看一下也是可以的。你这最起码的基础还是要有的。
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Jackofalltrades,Butspecialofnone.
14楼2016-01-04 13:32:14
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
13楼: Originally posted by zbnet at 2015-12-31 09:37:43
另外，看你的描述不像短路问题，毕竟还能起辉，可能是你的功率太小了，新靶用一次也看不出来表面有溅射的痕迹吧

确实是电流小了，把电流调大后，可以看到靶表面被溅射了，但是溅射在样品上面的膜层比较灰，不像其他设备溅射的膜层那样是金属色。
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15楼2016-01-05 08:12:07
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匿名

用户注销 (正式写手)
★ ★
liaofang20: 金币+2 2016-01-13 08:23:47
本帖仅楼主可见
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16楼2016-01-12 17:23:57
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王一丘山

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

你这种情况要么是溅射能量不够，要么是靶中毒了。
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一笔的距离
17楼2016-03-21 10:14:34
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lbt_xmc

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+4, ★★★很有帮助 2017-09-22 15:10:09
来来来。首先一个问题，磁控溅射的环境是不是真空(或者低压环境，0.5,0.6Pa的样子)呢？发蓝的原因是氧气，我们这儿有种专门的蓝色板材（宝石蓝），ps下：下午会做这种产品，在低压条件下，通入合适量的氧气，开启弧源，偏压，使靶材、气体电离，在偏压作用下，飞向靶材。如果不是低压环境，很容易使靶材表面生成一层氧化膜，使得靶材难以被电离，称为靶中毒。至于金色的膜层，是通入了N2，你去搜索TiN,它的颜色就是金色的呢！另外，低压条件下，同时通入N2,C2H2，颜色还会变化，变成玫瑰色。
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18楼2017-07-19 10:41:42
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