应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 钛靶溅射不出来
182/2返回列表上一页12
查看: 3349  |  回复: 17
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

涛涛来奋斗

木虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by hs_77 at 2015-12-30 09:33:51
短路就是你溅射的出来的金属粉末夹在阴阳间的缝隙里面了，你要把阴阳极间的金属粉末清干净。开车前用万用表测一下阴阳极间的电阻。...

不好意思，因为我刚接触磁控溅射，所以有很多地方不懂，阴阳极空隙是什么，指的是啥呀

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
加油！
11楼2015-12-31 09:25:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zbnet

金虫 (小有名气)
直接用万用表测量靶材表面与外屏蔽罩是否导通，若不想破坏真空的话，直接把直流线拔掉，测量插线部位的绝缘尼龙内部与外部是否导通，一个效果。导通就说明你的短路了，要及时清理屏蔽罩与靶材上面的残留物。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
Don't start your day with the broken pieces of yesterday!
12楼2015-12-31 09:34:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zbnet

金虫 (小有名气)
另外，看你的描述不像短路问题，毕竟还能起辉，可能是你的功率太小了，新靶用一次也看不出来表面有溅射的痕迹吧

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
Don't start your day with the broken pieces of yesterday!
13楼2015-12-31 09:37:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
liaofang20: 金币+1 2016-01-05 08:12:33
引用回帖:
11楼: Originally posted by 涛涛来奋斗 at 2015-12-31 09:25:02
不好意思，因为我刚接触磁控溅射，所以有很多地方不懂，阴阳极空隙是什么，指的是啥呀
...

这个我真不知道怎么说了，不知道你们公司在哪里；要是方面我给你看一下也是可以的。你这最起码的基础还是要有的。
赞一下 回复此楼
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
14楼2016-01-04 13:32:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
13楼: Originally posted by zbnet at 2015-12-31 09:37:43
另外，看你的描述不像短路问题，毕竟还能起辉，可能是你的功率太小了，新靶用一次也看不出来表面有溅射的痕迹吧

确实是电流小了，把电流调大后，可以看到靶表面被溅射了，但是溅射在样品上面的膜层比较灰，不像其他设备溅射的膜层那样是金属色。
赞一下 回复此楼
15楼2016-01-05 08:12:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

匿名

用户注销 (正式写手)
★ ★
liaofang20: 金币+2 2016-01-13 08:23:47
本帖仅楼主可见
赞一下
16楼2016-01-12 17:23:57
已阅   申请FPI   回复此楼   编辑   查看我的主页

王一丘山

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

你这种情况要么是溅射能量不够，要么是靶中毒了。
赞一下 回复此楼
一笔的距离
17楼2016-03-21 10:14:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lbt_xmc

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+4, ★★★很有帮助 2017-09-22 15:10:09
来来来。首先一个问题，磁控溅射的环境是不是真空(或者低压环境，0.5,0.6Pa的样子)呢？发蓝的原因是氧气，我们这儿有种专门的蓝色板材（宝石蓝），ps下：下午会做这种产品，在低压条件下，通入合适量的氧气，开启弧源，偏压，使靶材、气体电离，在偏压作用下，飞向靶材。如果不是低压环境，很容易使靶材表面生成一层氧化膜，使得靶材难以被电离，称为靶中毒。至于金色的膜层，是通入了N2，你去搜索TiN,它的颜色就是金色的呢！另外，低压条件下，同时通入N2,C2H2，颜色还会变化，变成玫瑰色。
赞一下 回复此楼
18楼2017-07-19 10:41:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 liaofang20 的主题更新
182/2返回列表上一页12
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战 +7 process2012 2026-08-23 10/500 2026-08-26 19:23 by hmhminy
[基金申请] 系统查不到 +10 董八千 2026-08-26 10/500 2026-08-26 16:30 by Equinoxhua
[基金申请] 怎么查啊 +5 huang1991js 2026-08-26 5/250 2026-08-26 16:09 by Equinoxhua
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +9 炎黄贵胄 2026-08-22 10/500 2026-08-26 15:40 by semaglutide
[基金申请] 出来了 +9 trojank 2026-08-26 9/450 2026-08-26 14:25 by 宝贝虫子
[基金申请] 科研孤儿太难了 +21 我4大白菜 2026-08-20 22/1100 2026-08-26 11:29 by nlgza
[基金申请] 国际合作可查了，中了面上 +18 Ldrop2023 2026-08-26 18/900 2026-08-26 11:15 by cmrandy
[基金申请] 系统进不去 +4 yanglien 2026-08-26 5/250 2026-08-26 11:10 by wenfengw83
[基金申请] 项目信息和经费信息在系统里都可以看到了 +6 wittyboy 2026-08-26 14/700 2026-08-26 10:55 by wittyboy
[基金申请] 今天务委会开完了，明天出结果吗 +19 angus9576 2026-08-25 23/1150 2026-08-26 10:03 by zp519
[职场人生] 学生撞见辅导员送外卖，第二天全班都沉默了 +3 鲸鱼融金_浙江_� 2026-08-22 3/150 2026-08-26 09:01 by zzuzxg
[基金申请] 在坚冰还盖着北海的时候，我看到了怒放的梅花。 (金币+10) +6 ziyangfang 2026-08-25 9/450 2026-08-25 20:26 by huagongfeihu
[基金申请] 明天应该可查了！？ +6 chengyan1220 2026-08-23 6/300 2026-08-25 19:45 by zfd97
[基金申请] 某些机构，以效率低为荣，以效率低作为存在感 +9 yuleib84 2026-08-25 10/500 2026-08-25 17:14 by alexon
[基金申请] 人气不行了 +11 fansofjerry 2026-08-21 11/550 2026-08-25 11:04 by 孤独的英雄6
[教师之家] 导师吐槽：我怎么摊上了这么个极品研究生！ +3 苏东坡二世 2026-08-23 3/150 2026-08-25 10:35 by shisan1313
[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +13 kulium 2026-08-21 16/800 2026-08-24 16:27 by superceng
[基金申请] 让我中一个面上吧！ +13 大萍1987 2026-08-20 16/800 2026-08-24 10:23 by 太傻了
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办？ +5 简单化xn 2026-08-22 10/500 2026-08-23 12:38 by 简单化xn
[基金申请] 时间戳今天，20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭