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liaofang20

银虫 (小有名气)

应助: 3 (幼儿园)
金币: 2174.1
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红花: 1
帖子: 251
在线: 148小时
虫号: 1117067
注册: 2010-10-09
性别: MM
专业: 金属材料表面科学与工程

[求助] 钛靶溅射不出来已有8人参与

PVD镀钛膜，使用直流溅射，靶材为柱状靶。但是溅射了半个小时，样品除了有一点发蓝，没啥变化（我用其他设备溅射的钛膜是金属色的）。看溅射后的靶材，好像没溅射，靶材能正常起辉，请大神指点。

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1楼 2015-12-15 09:37:05

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

lbt_xmc

新虫 (初入文坛)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 7.8
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在线: 3.3小时
虫号: 6948814
注册: 2017-07-14

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+4, ★★★很有帮助 2017-09-22 15:10:09

来来来。首先一个问题，磁控溅射的环境是不是真空(或者低压环境，0.5,0.6Pa的样子)呢？发蓝的原因是氧气，我们这儿有种专门的蓝色板材（宝石蓝），ps下：下午会做这种产品，在低压条件下，通入合适量的氧气，开启弧源，偏压，使靶材、气体电离，在偏压作用下，飞向靶材。如果不是低压环境，很容易使靶材表面生成一层氧化膜，使得靶材难以被电离，称为靶中毒。至于金色的膜层，是通入了N2，你去搜索TiN,它的颜色就是金色的呢！另外，低压条件下，同时通入N2,C2H2，颜色还会变化，变成玫瑰色。