24小时热门版块排行榜    

查看: 3076  |  回复: 17

liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 钛靶溅射不出来 已有8人参与

PVD镀钛膜,使用直流溅射,靶材为柱状靶。但是溅射了半个小时,样品除了有一点发蓝,没啥变化(我用其他设备溅射的钛膜是金属色的)。看溅射后的靶材,好像没溅射,靶材能正常起辉,请大神指点。
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

weirensi

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
liaofang20: 金币+2 2015-12-15 11:28:34
直流源应该溅射得很快啊,能起辉说明没短路,调整功率,流量啥的,看看能不能改善
2楼2015-12-15 10:06:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by weirensi at 2015-12-15 10:06:59
直流源应该溅射得很快啊,能起辉说明没短路,调整功率,流量啥的,看看能不能改善

炉压0.5Pa,电流15A。
3楼2015-12-15 11:28:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
liaofang20: 金币+3 2015-12-18 08:09:00
可能是功率不对,功率太小?
用绳命来搞科研
4楼2015-12-16 15:53:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

caojingpie

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2 2015-12-29 16:50:00
电流太小了吧,也许设备区别,我这都是200A大电流的
5楼2015-12-24 12:55:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, 磁控靶。 2015-12-29 16:51:10
你这是电弧靶,还是电磁靶,做了十几年PVD了都没看明白你说的是什么。
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
6楼2015-12-25 14:24:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sciencetechn

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, 清理过 2015-12-29 16:51:36
调整溅射功率,另外,看一下靶材表面是否干净
专业研发高纯磁控溅射靶材蒸发镀膜材料:15210523788(微信),北京金源新材
7楼2015-12-28 14:23:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涛涛来奋斗

木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by hs_77 at 2015-12-25 14:24:18
你这是电弧靶,还是电磁靶,做了十几年PVD了都没看明白你说的是什么。

大神,磁控溅射中所说的短路是什么意思

发自小木虫IOS客户端
加油!
8楼2015-12-29 17:02:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hs_77

木虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 涛涛来奋斗 at 2015-12-29 17:02:03
大神,磁控溅射中所说的短路是什么意思
...

短路就是你溅射的出来的金属粉末夹在阴阳间的缝隙里面了,你要把阴阳极间的金属粉末清干净。开车前用万用表测一下阴阳极间的电阻。
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
9楼2015-12-30 09:33:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, 靶的颜色正常 2016-01-05 08:09:51
再有你说的情况有点象靶中毒了,你产品没镀上钛,你的靶面是什么情况,正常不?
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
10楼2015-12-30 09:35:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 liaofang20 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 281求调剂(0805) +4 烟汐忆海 2026-03-16 11/550 2026-03-18 11:57 by djl2006
[考研] 290求调剂 +10 ADT 2026-03-11 10/500 2026-03-18 11:00 by 哦哦123
[考研] 0703化学调剂 ,六级已过,有科研经历 +9 曦熙兮 2026-03-15 9/450 2026-03-18 10:23 by macy2011
[考研] 070300化学319求调剂 +5 锦鲤0909 2026-03-17 5/250 2026-03-18 10:21 by macy2011
[考研] 312求调剂 +7 陌宸希 2026-03-16 8/400 2026-03-18 09:54 by macy2011
[考研] 297求调剂 +4 戏精丹丹丹 2026-03-17 4/200 2026-03-18 09:32 by zhukairuo
[考研] 278求调剂 +5 烟火先于春 2026-03-17 5/250 2026-03-18 08:43 by 星空星月
[考研] 296求调剂 +5 大口吃饭 身体健 2026-03-13 5/250 2026-03-17 21:05 by 不惑可乐
[考研] 26考研求调剂 +6 丶宏Sir 2026-03-13 6/300 2026-03-17 16:13 by 醉在风里
[考研] 材料与化工专硕调剂 +5 heming3743 2026-03-16 5/250 2026-03-17 14:03 by 勇敢太监王公公
[考研] 08工科 320总分 求调剂 +4 梨花珞晚风 2026-03-17 4/200 2026-03-17 13:38 by houyaoxu
[论文投稿] 有没有大佬发小论文能带我个二作 +3 增锐漏人 2026-03-17 4/200 2026-03-17 09:26 by xs74101122
[考研] 283求调剂 +3 听风就是雨; 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:41 by 热情沙漠
[考研] 11408 一志愿西电,277分求调剂 +3 zhouzhen654 2026-03-16 3/150 2026-03-17 07:03 by laoshidan
[基金申请] 现在如何回避去年的某一个专家,不知道名字 +3 zk200107 2026-03-12 6/300 2026-03-14 17:13 by zk200107
[考研] 308 085701 四六级已过求调剂 +7 温乔乔乔乔 2026-03-12 14/700 2026-03-14 10:49 by JourneyLucky
[基金申请] 有必要更换申报口吗 20+3 fannyamoy 2026-03-11 3/150 2026-03-14 00:52 by zhanghaozhu
[考研] 0703化学求调剂 +7 绿豆芹菜汤 2026-03-12 7/350 2026-03-13 17:25 by njzyff
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +8 困于星晨 2026-03-12 10/500 2026-03-13 15:42 by ms629
[考研] 土木第一志愿276求调剂,科研和技能十分丰富,求新兴方向的导师收留 +3 土木小天才 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:01 by JourneyLucky
信息提示
请填处理意见