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liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 钛靶溅射不出来 已有8人参与

PVD镀钛膜,使用直流溅射,靶材为柱状靶。但是溅射了半个小时,样品除了有一点发蓝,没啥变化(我用其他设备溅射的钛膜是金属色的)。看溅射后的靶材,好像没溅射,靶材能正常起辉,请大神指点。
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weirensi

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
liaofang20: 金币+2 2015-12-15 11:28:34
直流源应该溅射得很快啊,能起辉说明没短路,调整功率,流量啥的,看看能不能改善
2楼2015-12-15 10:06:59
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liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by weirensi at 2015-12-15 10:06:59
直流源应该溅射得很快啊,能起辉说明没短路,调整功率,流量啥的,看看能不能改善

炉压0.5Pa,电流15A。
3楼2015-12-15 11:28:38
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
liaofang20: 金币+3 2015-12-18 08:09:00
可能是功率不对,功率太小?
用绳命来搞科研
4楼2015-12-16 15:53:03
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caojingpie

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2 2015-12-29 16:50:00
电流太小了吧,也许设备区别,我这都是200A大电流的
5楼2015-12-24 12:55:37
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, 磁控靶。 2015-12-29 16:51:10
你这是电弧靶,还是电磁靶,做了十几年PVD了都没看明白你说的是什么。
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
6楼2015-12-25 14:24:18
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sciencetechn

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, 清理过 2015-12-29 16:51:36
调整溅射功率,另外,看一下靶材表面是否干净
专业研发高纯磁控溅射靶材蒸发镀膜材料:15210523788(微信),北京金源新材
7楼2015-12-28 14:23:47
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涛涛来奋斗

木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by hs_77 at 2015-12-25 14:24:18
你这是电弧靶,还是电磁靶,做了十几年PVD了都没看明白你说的是什么。

大神,磁控溅射中所说的短路是什么意思

发自小木虫IOS客户端
加油!
8楼2015-12-29 17:02:03
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hs_77

木虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 涛涛来奋斗 at 2015-12-29 17:02:03
大神,磁控溅射中所说的短路是什么意思
...

短路就是你溅射的出来的金属粉末夹在阴阳间的缝隙里面了,你要把阴阳极间的金属粉末清干净。开车前用万用表测一下阴阳极间的电阻。
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
9楼2015-12-30 09:33:51
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, 靶的颜色正常 2016-01-05 08:09:51
再有你说的情况有点象靶中毒了,你产品没镀上钛,你的靶面是什么情况,正常不?
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
10楼2015-12-30 09:35:35
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