24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 3135  |  回复: 17

liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 钛靶溅射不出来 已有8人参与

PVD镀钛膜,使用直流溅射,靶材为柱状靶。但是溅射了半个小时,样品除了有一点发蓝,没啥变化(我用其他设备溅射的钛膜是金属色的)。看溅射后的靶材,好像没溅射,靶材能正常起辉,请大神指点。
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

weirensi

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
liaofang20: 金币+2 2015-12-15 11:28:34
直流源应该溅射得很快啊,能起辉说明没短路,调整功率,流量啥的,看看能不能改善
2楼2015-12-15 10:06:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by weirensi at 2015-12-15 10:06:59
直流源应该溅射得很快啊,能起辉说明没短路,调整功率,流量啥的,看看能不能改善

炉压0.5Pa,电流15A。
3楼2015-12-15 11:28:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
liaofang20: 金币+3 2015-12-18 08:09:00
可能是功率不对,功率太小?
用绳命来搞科研
4楼2015-12-16 15:53:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

caojingpie

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2 2015-12-29 16:50:00
电流太小了吧,也许设备区别,我这都是200A大电流的
5楼2015-12-24 12:55:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, 磁控靶。 2015-12-29 16:51:10
你这是电弧靶,还是电磁靶,做了十几年PVD了都没看明白你说的是什么。
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
6楼2015-12-25 14:24:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sciencetechn

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, 清理过 2015-12-29 16:51:36
调整溅射功率,另外,看一下靶材表面是否干净
专业研发高纯磁控溅射靶材蒸发镀膜材料:15210523788(微信),北京金源新材
7楼2015-12-28 14:23:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

涛涛来奋斗

木虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by hs_77 at 2015-12-25 14:24:18
你这是电弧靶,还是电磁靶,做了十几年PVD了都没看明白你说的是什么。

大神,磁控溅射中所说的短路是什么意思

发自小木虫IOS客户端
加油!
8楼2015-12-29 17:02:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hs_77

木虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 涛涛来奋斗 at 2015-12-29 17:02:03
大神,磁控溅射中所说的短路是什么意思
...

短路就是你溅射的出来的金属粉末夹在阴阳间的缝隙里面了,你要把阴阳极间的金属粉末清干净。开车前用万用表测一下阴阳极间的电阻。
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
9楼2015-12-30 09:33:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, 靶的颜色正常 2016-01-05 08:09:51
再有你说的情况有点象靶中毒了,你产品没镀上钛,你的靶面是什么情况,正常不?
Jackofalltrades,Butspecialofnone.
10楼2015-12-30 09:35:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 liaofang20 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 287求调剂 +7 Fnhc 2026-04-07 12/600 2026-04-08 00:32 by zhouyuwinner
[考研] 288求调剂 +12 没有答案_ 2026-04-05 12/600 2026-04-08 00:17 by T可可西里T
[考研] 调剂求助(生物与医药) +6 @6952 2026-04-06 6/300 2026-04-07 23:52 by lys0704
[考研] 080100力学316求调剂 +3 L_Hairui 2026-04-07 3/150 2026-04-07 23:26 by JourneyLucky
[考研] 一志愿211电子信息347求调剂 +3 554916 2026-04-03 3/150 2026-04-07 23:22 by 如若时光倒流
[考研] 22408 一志愿双一流人工智能300分 四六级,数据分析国奖 +4 zzfeng123 2026-04-06 6/300 2026-04-07 21:02 by zzfeng123
[考研] 作栽330调剂 +3 我要上好学 2026-04-02 4/200 2026-04-07 19:54 by biomichael
[考研] 328求调剂 +4 ghhh88888 2026-04-06 5/250 2026-04-07 14:45 by ghhh88888
[考研] 0703化学 +22 妮妮ninicgb 2026-04-04 25/1250 2026-04-07 10:35 by plum
[考研] 生物学学硕求调剂:351分一志愿南京师范大学生物学专业 +6 …~、王…~ 2026-04-06 7/350 2026-04-06 18:54 by macy2011
[考研] 281求调剂 +8 椰子蘑菇 2026-04-06 8/400 2026-04-06 10:38 by 蓝云思雨
[考研] 348求调剂 +6 wukira 2026-04-04 6/300 2026-04-05 18:11 by 猪会飞
[考研] 342求调剂 +3 Liang7111 2026-04-04 5/250 2026-04-04 19:47 by dongzh2009
[论文投稿] 求文献 5+3 ys879651$ 2026-04-02 3/150 2026-04-04 17:22 by bobvan
[考研] 311求调剂 +11 勇敢的小吴 2026-04-02 11/550 2026-04-03 21:46 by qlm5820
[考研] 322求调剂 +4 FZAC123 2026-04-03 4/200 2026-04-03 20:55 by zhq0425
[考研] 293求调剂 +5 末未mm 2026-04-02 6/300 2026-04-03 15:20 by 王保杰33
[考研] 325分化学调剂 +5 15771691647 2026-04-02 5/250 2026-04-03 09:58 by ChemPharm
[考研] 348环境工程调剂 +3 吴彦祖24k 2026-04-01 3/150 2026-04-02 09:14 by nanaliuyun
[考研] 一志愿346上海大学生物学 +3 上海大学346调剂 2026-04-01 3/150 2026-04-02 08:36 by w虫虫123
信息提示
请填处理意见