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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 钛靶溅射不出来
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liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 钛靶溅射不出来 已有8人参与

PVD镀钛膜，使用直流溅射，靶材为柱状靶。但是溅射了半个小时，样品除了有一点发蓝，没啥变化（我用其他设备溅射的钛膜是金属色的）。看溅射后的靶材，好像没溅射，靶材能正常起辉，请大神指点。
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1楼 2015-12-15 09:37:05
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weirensi

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liaofang20: 金币+2 2015-12-15 11:28:34
直流源应该溅射得很快啊，能起辉说明没短路，调整功率，流量啥的，看看能不能改善
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2楼2015-12-15 10:06:59
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by weirensi at 2015-12-15 10:06:59
直流源应该溅射得很快啊，能起辉说明没短路，调整功率，流量啥的，看看能不能改善

炉压0.5Pa，电流15A。
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3楼2015-12-15 11:28:38
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liaofang20: 金币+3 2015-12-18 08:09:00
可能是功率不对，功率太小？
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用绳命来搞科研
4楼2015-12-16 15:53:03
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caojingpie

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2 2015-12-29 16:50:00
电流太小了吧，也许设备区别，我这都是200A大电流的
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5楼2015-12-24 12:55:37
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, 磁控靶。 2015-12-29 16:51:10
你这是电弧靶，还是电磁靶，做了十几年PVD了都没看明白你说的是什么。
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Jackofalltrades,Butspecialofnone.
6楼2015-12-25 14:24:18
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sciencetechn

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, 清理过 2015-12-29 16:51:36
调整溅射功率，另外，看一下靶材表面是否干净
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专业研发高纯磁控溅射靶材蒸发镀膜材料：15210523788（微信），北京金源新材
7楼2015-12-28 14:23:47
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涛涛来奋斗

木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by hs_77 at 2015-12-25 14:24:18
你这是电弧靶，还是电磁靶，做了十几年PVD了都没看明白你说的是什么。

大神，磁控溅射中所说的短路是什么意思

发自小木虫IOS客户端
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加油！
8楼2015-12-29 17:02:03
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hs_77

木虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 涛涛来奋斗 at 2015-12-29 17:02:03
大神，磁控溅射中所说的短路是什么意思
...

短路就是你溅射的出来的金属粉末夹在阴阳间的缝隙里面了，你要把阴阳极间的金属粉末清干净。开车前用万用表测一下阴阳极间的电阻。
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Jackofalltrades,Butspecialofnone.
9楼2015-12-30 09:33:51
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
liaofang20: 金币+2, 靶的颜色正常 2016-01-05 08:09:51
再有你说的情况有点象靶中毒了，你产品没镀上钛，你的靶面是什么情况，正常不？
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Jackofalltrades,Butspecialofnone.
10楼2015-12-30 09:35:35
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