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liaofang20银虫 (小有名气)
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[求助]
钛靶溅射不出来 已有8人参与
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| PVD镀钛膜，使用直流溅射，靶材为柱状靶。但是溅射了半个小时，样品除了有一点发蓝，没啥变化（我用其他设备溅射的钛膜是金属色的）。看溅射后的靶材，好像没溅射，靶材能正常起辉，请大神指点。 |
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直接用万用表测量靶材表面与外屏蔽罩是否导通，若不想破坏真空的话，直接把直流线拔掉，测量插线部位的绝缘尼龙内部与外部是否导通，一个效果。导通就说明你的短路了，要及时清理屏蔽罩与靶材上面的残留物。 发自小木虫Android客户端 |
12楼2015-12-31 09:34:36
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2楼2015-12-15 10:06:59
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3楼2015-12-15 11:28:38
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4楼2015-12-16 15:53:03