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克努特

铜虫 (小有名气)

[求助] 单晶硅Si-Si键断裂问题

背景:当采用化学湿法腐蚀单晶硅时,截止面为111面,采用键断裂吸收能量的方法对这一现象予以解释。
问题:单晶硅沿100面、110面、111面时,可视为分别有几个Si-Si键断裂呢?求大神解释。
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克努特

铜虫 (小有名气)

不同晶相的Si截止面和掩膜与主参考面的相对角度决定。能从化学角度予以解释么?
2楼2015-12-17 11:35:38
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