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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 无机化学 » 单晶硅Si-Si键断裂问题
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克努特

铜虫 (小有名气)

[求助] 单晶硅Si-Si键断裂问题

背景：当采用化学湿法腐蚀单晶硅时，截止面为111面，采用键断裂吸收能量的方法对这一现象予以解释。
问题：单晶硅沿100面、110面、111面时，可视为分别有几个Si-Si键断裂呢？求大神解释。
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1楼 2015-12-11 22:45:41
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克努特

铜虫 (小有名气)
不同晶相的Si截止面和掩膜与主参考面的相对角度决定。能从化学角度予以解释么？
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2楼2015-12-17 11:35:38
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