24小时热门版块排行榜    

查看: 1498  |  回复: 3
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

yuanxin5254

金虫 (正式写手)

[求助] 怎么沿着某一个晶体的晶面方向刻蚀SiO2 已有1人参与

怎么沿着某一个晶体的晶面方向,比如<1120>方向刻蚀SiO2,使SiO2条纹的方向与<1120>方向平行,这个角度是什么样的,或者形状是什么样的
回复此楼
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by yuanxin5254 at 2015-12-08 13:48:21
是这样的,我要将SiO2刻蚀成条纹状,而条纹要跟GaN晶体的某个晶面方向平行,比如这些晶面为<0001>,<1120><1101>等等。就是具体的刻蚀方法该怎么做。有没有这方面的文章或者书籍啊。...

搜索硅的各向异型湿法腐蚀,能得到很多结果,中文没有就搜英文。
4楼2015-12-17 12:39:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
yuanxin5254: 金币+10, ★有帮助 2015-12-08 13:46:05
可以先用湿法腐蚀找到100的晶向,然后用mask对准这个晶向去做光刻,图形和晶向呈你需要的角度,然后去刻好了。
2楼2015-12-08 11:56:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuanxin5254

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-08 11:56:03
可以先用湿法腐蚀找到100的晶向,然后用mask对准这个晶向去做光刻,图形和晶向呈你需要的角度,然后去刻好了。

是这样的,我要将SiO2刻蚀成条纹状,而条纹要跟GaN晶体的某个晶面方向平行,比如这些晶面为<0001>,<1120><1101>等等。就是具体的刻蚀方法该怎么做。有没有这方面的文章或者书籍啊。
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
3楼2015-12-08 13:48:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 师弟论文见刊大半年才想起来申请专利,还能抢救一下吗? +5 13108017953 2026-09-21 5/250 2026-09-27 16:46 by Leogzhya
[教师之家] 某top大学教授说“能够在市场中兑现的能力才是真能力”无比同意! +3 zju2000 2026-09-26 3/150 2026-09-27 16:26 by lala1008
[硕博家园] 上海工程技术大学 激光智能制造课题组 2027级博士研究生招生 +5 oxidpl 2026-09-20 7/350 2026-09-27 10:43 by Equinoxhua
[博后之家] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 ViqFlLSxHDGt 2026-09-26 3/150 2026-09-27 10:42 by 4IW0sJvtEqX8
[找工作] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 ViqFlLSxHDGt 2026-09-26 3/150 2026-09-27 10:26 by 4IW0sJvtEqX8
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 ViqFlLSxHDGt 2026-09-26 3/150 2026-09-27 10:15 by 4IW0sJvtEqX8
[考博] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ViqFlLSxHDGt 2026-09-26 3/150 2026-09-27 10:03 by 4IW0sJvtEqX8
[考博] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 oeyPlfmMUpOC 2026-09-26 3/150 2026-09-27 09:13 by 4IW0sJvtEqX8
[公派出国] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 GxESXJmptOtQ 2026-09-25 4/200 2026-09-27 06:44 by XgCC8uTcwILl
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 GxESXJmptOtQ 2026-09-25 4/200 2026-09-27 06:39 by XgCC8uTcwILl
[找工作] 售SCI一区T0P文章,我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 GxESXJmptOtQ 2026-09-25 3/150 2026-09-27 06:32 by XgCC8uTcwILl
[找工作] 售SCI一区文章,我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 vQZoDrrm7mUF 2026-09-25 3/150 2026-09-27 06:08 by XgCC8uTcwILl
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 vQZoDrrm7mUF 2026-09-25 3/150 2026-09-27 06:05 by XgCC8uTcwILl
[考研] 售一区SCI文章T0P,我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 vQZoDrrm7mUF 2026-09-25 3/150 2026-09-27 05:56 by XgCC8uTcwILl
[找工作] 售SCI一区文章,我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +5 vQZoDrrm7mUF 2026-09-25 5/250 2026-09-27 05:53 by XgCC8uTcwILl
[公派出国] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 vQZoDrrm7mUF 2026-09-25 4/200 2026-09-27 05:44 by XgCC8uTcwILl
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 vQZoDrrm7mUF 2026-09-25 6/300 2026-09-27 05:42 by XgCC8uTcwILl
[找工作] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 PGTSwSC3F6nQ 2026-09-24 5/250 2026-09-25 11:19 by yhq9807
[公派出国] 售SCI-T0P文章,我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 PGTSwSC3F6nQ 2026-09-24 7/350 2026-09-25 11:18 by yhq9807
[教师之家] 课题组招2027级博士 上海工程技术大学 激光智能制造方向 +4 oxidpl 2026-09-20 6/300 2026-09-24 20:37 by oxidpl
信息提示
请填处理意见