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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

[求助] 怎么沿着某一个晶体的晶面方向刻蚀SiO2 已有1人参与

怎么沿着某一个晶体的晶面方向,比如<1120>方向刻蚀SiO2,使SiO2条纹的方向与<1120>方向平行,这个角度是什么样的,或者形状是什么样的
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我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-08 11:56:03
可以先用湿法腐蚀找到100的晶向,然后用mask对准这个晶向去做光刻,图形和晶向呈你需要的角度,然后去刻好了。

是这样的,我要将SiO2刻蚀成条纹状,而条纹要跟GaN晶体的某个晶面方向平行,比如这些晶面为<0001>,<1120><1101>等等。就是具体的刻蚀方法该怎么做。有没有这方面的文章或者书籍啊。
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
3楼2015-12-08 13:48:21
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
yuanxin5254: 金币+10, 有帮助 2015-12-08 13:46:05
可以先用湿法腐蚀找到100的晶向,然后用mask对准这个晶向去做光刻,图形和晶向呈你需要的角度,然后去刻好了。
2楼2015-12-08 11:56:03
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by yuanxin5254 at 2015-12-08 13:48:21
是这样的,我要将SiO2刻蚀成条纹状,而条纹要跟GaN晶体的某个晶面方向平行,比如这些晶面为<0001>,<1120><1101>等等。就是具体的刻蚀方法该怎么做。有没有这方面的文章或者书籍啊。...

搜索硅的各向异型湿法腐蚀,能得到很多结果,中文没有就搜英文。
4楼2015-12-17 12:39:08
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