24小时热门版块排行榜    

查看: 1449  |  回复: 3

yuanxin5254

金虫 (正式写手)

[求助] 怎么沿着某一个晶体的晶面方向刻蚀SiO2 已有1人参与

怎么沿着某一个晶体的晶面方向,比如<1120>方向刻蚀SiO2,使SiO2条纹的方向与<1120>方向平行,这个角度是什么样的,或者形状是什么样的
回复此楼
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
yuanxin5254: 金币+10, 有帮助 2015-12-08 13:46:05
可以先用湿法腐蚀找到100的晶向,然后用mask对准这个晶向去做光刻,图形和晶向呈你需要的角度,然后去刻好了。
2楼2015-12-08 11:56:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yuanxin5254

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-08 11:56:03
可以先用湿法腐蚀找到100的晶向,然后用mask对准这个晶向去做光刻,图形和晶向呈你需要的角度,然后去刻好了。

是这样的,我要将SiO2刻蚀成条纹状,而条纹要跟GaN晶体的某个晶面方向平行,比如这些晶面为<0001>,<1120><1101>等等。就是具体的刻蚀方法该怎么做。有没有这方面的文章或者书籍啊。
我们坚持做一件事情,并不是这样做了有效果,而是坚信,这样做了是对的。
3楼2015-12-08 13:48:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by yuanxin5254 at 2015-12-08 13:48:21
是这样的,我要将SiO2刻蚀成条纹状,而条纹要跟GaN晶体的某个晶面方向平行,比如这些晶面为<0001>,<1120><1101>等等。就是具体的刻蚀方法该怎么做。有没有这方面的文章或者书籍啊。...

搜索硅的各向异型湿法腐蚀,能得到很多结果,中文没有就搜英文。
4楼2015-12-17 12:39:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 yuanxin5254 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +10 majunge000 2026-08-10 13/650 2026-08-15 12:26 by hanpeng972
[考博] 售一区SCI文章T0P,我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 HFw0lei2R37i 2026-08-14 5/250 2026-08-15 11:41 by KxMI1BYBxWX1
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜? +6 Ldrop2023 2026-08-13 6/300 2026-08-15 10:09 by tuanggou
[教师之家] 售SCI一区T0P文章,我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +5 7lpolszZVXgi 2026-08-14 6/300 2026-08-15 09:28 by sunzitan
[基金申请] filecode +7 cratir 2026-08-14 11/550 2026-08-15 06:19 by 学员8dgXkO
[考博] 售SCI文章,我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 k0dTPqJtl0jt 2026-08-14 5/250 2026-08-15 04:45 by 4wMiSEwB6436
[公派出国] 售SCI一区T0P文章,我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 7lpolszZVXgi 2026-08-14 5/250 2026-08-15 04:41 by 4wMiSEwB6436
[找工作] 售SCI文章,我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 k0dTPqJtl0jt 2026-08-14 4/200 2026-08-15 02:21 by 4wMiSEwB6436
[基金申请] 奇怪,两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +8 布布和一二 2026-08-10 11/550 2026-08-14 14:58 by Equinoxhua
[基金申请] FileCode能看出啥? +10 要乐观耀哥 2026-08-10 32/1600 2026-08-14 09:37 by 要乐观耀哥
[基金申请] 我的国基提前知道中了,可是同事的操作让我实在接受不了,怎么会有这样的人 +10 家与远方 2026-08-10 15/750 2026-08-14 02:08 by 绵羊哥哥
[基金申请] 重要来源:本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] 不应该看fileCode +7 且听虎啸 2026-08-12 9/450 2026-08-13 14:27 by flydreamws
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +4 布布和一二 2026-08-11 5/250 2026-08-13 12:56 by cratir
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见,大家看看几个A,几个B? +11 Tide man 2026-08-11 11/550 2026-08-13 07:35 by 撸猫猫
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分? +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 什么时候出结果,有咨询渠道??? +3 Tide man 2026-08-11 3/150 2026-08-11 17:54 by kudofaye
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +9 布布和一二 2026-08-08 9/450 2026-08-10 11:22 by xxxx2020
信息提示
请填处理意见