| 查看: 1270 | 回复: 10 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
勿忘心安里铁虫 (小有名气)
|
[交流]
PZT刻蚀速率的测量（使用台阶仪）
|
||
请问PZT刻蚀速率的测量（使用台阶仪），我在一个片子上刻了4次且刻蚀时间不一样，分别刻了9min、7min、3min、1min30s（如宏观图）。但是在测3min、1min30s的时候很不好测，几乎不能测出（我可以估算差不多刻蚀了50nm和25nm）,测量时数据图如下。请问各位有没有相似情况，我的分析是，因为刻蚀的相对深度底，台阶不明显，刻蚀得不干净的残留膜使然，当然脏污就更不用说了。 IMG_20151204_212127.jpg  IMG_20151204_213039.jpg  IMG_20151204_213449.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
366求调剂
已经有9人回复
-
材料工程085601，270求调剂
已经有37人回复
-
279学硕食品专业求调剂院校
已经有18人回复
-
290调剂生物0860
已经有31人回复
-
一志愿085802 323分求调剂
已经有13人回复
-
277求调剂
已经有23人回复
-
322求调剂，08工科
已经有4人回复
-
材料工程281还有调剂机会吗
已经有30人回复
-
化学070300 求调剂
已经有16人回复
-
化工学硕294分，求导师收留
已经有12人回复
vincentwz
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 70 (初中生)
- 金币: 14721.7
- 散金: 1899
- 红花: 4
- 帖子: 1652
- 在线: 1292.8小时
- 虫号: 645650
- 注册: 2008-11-04
- 专业: 物理电子学
8楼2015-12-06 17:55:16
634241863
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 金币: 10595.5
- 红花: 9
- 帖子: 310
- 在线: 343.7小时
- 虫号: 1108425
- 注册: 2010-09-26
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
2楼2015-12-04 22:22:43
勿忘心安里
铁虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1351.2
- 散金: 105
- 红花: 2
- 帖子: 193
- 在线: 59.2小时
- 虫号: 3832540
- 注册: 2015-04-25
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2015-12-05 09:08:23
634241863
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 金币: 10595.5
- 红花: 9
- 帖子: 310
- 在线: 343.7小时
- 虫号: 1108425
- 注册: 2010-09-26
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
4楼2015-12-05 22:20:46
