| 查看: 1214 | 回复: 10 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
勿忘心安里铁虫 (小有名气)
|
[交流]
PZT刻蚀速率的测量（使用台阶仪）
|
||
请问PZT刻蚀速率的测量（使用台阶仪），我在一个片子上刻了4次且刻蚀时间不一样，分别刻了9min、7min、3min、1min30s（如宏观图）。但是在测3min、1min30s的时候很不好测，几乎不能测出（我可以估算差不多刻蚀了50nm和25nm）,测量时数据图如下。请问各位有没有相似情况，我的分析是，因为刻蚀的相对深度底，台阶不明显，刻蚀得不干净的残留膜使然，当然脏污就更不用说了。 IMG_20151204_212127.jpg  IMG_20151204_213039.jpg  IMG_20151204_213449.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
梁成伟老师课题组欢迎你的加入
已经有11人回复
-
复试调剂
已经有6人回复
-
0703化学调剂 ，六级已过，有科研经历
已经有11人回复
-
0856调剂，是学校就去
已经有4人回复
-
321求调剂
已经有10人回复
-
东华理工大学化材专业26届硕士博士申请
已经有8人回复
-
288求调剂
已经有11人回复
-
【考研调剂】化学专业 281分，一志愿四川大学，诚心求调剂
已经有5人回复
-
能源材料化学课题组招收硕士研究生8-10名
已经有12人回复
-
0703化学调剂
已经有4人回复
勿忘心安里
铁虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1351.2
- 散金: 105
- 红花: 2
- 帖子: 193
- 在线: 59.2小时
- 虫号: 3832540
- 注册: 2015-04-25
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2015-12-05 09:08:23
634241863
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 金币: 10595.5
- 红花: 9
- 帖子: 310
- 在线: 343.7小时
- 虫号: 1108425
- 注册: 2010-09-26
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
2楼2015-12-04 22:22:43
634241863
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 金币: 10595.5
- 红花: 9
- 帖子: 310
- 在线: 343.7小时
- 虫号: 1108425
- 注册: 2010-09-26
- 性别: GG
- 专业: 功能陶瓷
4楼2015-12-05 22:20:46
勿忘心安里
铁虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1351.2
- 散金: 105
- 红花: 2
- 帖子: 193
- 在线: 59.2小时
- 虫号: 3832540
- 注册: 2015-04-25
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
5楼2015-12-06 00:06:15
