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PZT刻蚀速率的测量（使用台阶仪）
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请问PZT刻蚀速率的测量（使用台阶仪），我在一个片子上刻了4次且刻蚀时间不一样，分别刻了9min、7min、3min、1min30s（如宏观图）。但是在测3min、1min30s的时候很不好测，几乎不能测出（我可以估算差不多刻蚀了50nm和25nm）,测量时数据图如下。请问各位有没有相似情况，我的分析是，因为刻蚀的相对深度底，台阶不明显，刻蚀得不干净的残留膜使然，当然脏污就更不用说了。 IMG_20151204_212127.jpg  IMG_20151204_213039.jpg  IMG_20151204_213449.jpg |
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3楼2015-12-05 09:08:23
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