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多层膜 已有1人参与
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| 各位大神 ,问一下在做CrN/DLC多层膜时遇到镀CrN时,氩气流量50,氮气150,气压1Pa一下不起辉,Cr靶电压很高,没有电流,而镀氮化铬单层时不会遇到这种问题,原因是什么,求各位大神帮助我一下,谢谢啦 |
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5楼2015-12-07 20:16:52
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2楼2015-12-07 11:44:30
3楼2015-12-07 16:21:40
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4楼2015-12-07 18:01:10













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