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多层膜 已有1人参与
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| 各位大神 ，问一下在做CrN/DLC多层膜时遇到镀CrN时，氩气流量50，氮气150，气压1Pa一下不起辉，Cr靶电压很高，没有电流，而镀氮化铬单层时不会遇到这种问题，原因是什么，求各位大神帮助我一下，谢谢啦 |
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3楼2015-12-07 16:21:40
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2楼2015-12-07 11:44:30
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4楼2015-12-07 18:01:10
5楼2015-12-07 20:16:52
