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街舞女孩123

铁虫 (初入文坛)

[求助] 多层膜 已有1人参与

各位大神 ，问一下在做CrN/DLC多层膜时遇到镀CrN时，氩气流量50，氮气150，气压1Pa一下不起辉，Cr靶电压很高，没有电流，而镀氮化铬单层时不会遇到这种问题，原因是什么，求各位大神帮助我一下，谢谢啦
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1楼 2015-12-04 21:04:03
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匿名

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2楼2015-12-07 11:44:30
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街舞女孩123

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by xy_yancheng at 2015-12-07 11:44:30
多层同时开了几个靶？

两个Cr靶，用的中频电源，用双极脉冲电源也不起辉
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3楼2015-12-07 16:21:40
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匿名

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4楼2015-12-07 18:01:10
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街舞女孩123

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by xy_yancheng at 2015-12-07 18:01:10
单层也是两个靶吗
...

恩 ，能提供给一个联系方式不，想你多请教一下，我是一个刚做实验的菜鸟就遇到这种问题了，非常感谢
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5楼2015-12-07 20:16:52
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WeightLoser

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

中频孪生靶在中毒的时候就是高电压不起辉，尝试梯度加气。
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6楼2015-12-08 20:51:54
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