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m-m

金虫 (著名写手)

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[交流] 【请教】电镜高手讲讲SEM的能谱分析的精度

小弟研究金属材料。现请教有关SEM的能普分析的问题
1：用EDS检测合金相中的微量元素准确吗，前提是，这个相很大，而其要检测的元素是稀土元素。比如检测出Y的重量百分比只有0.5%。这个数据可靠吗？
2：当做EDS时，把本来肯定没有的元素加进去了（打能普时记错了样品编号，哈哈），居然检测重量百分比有0.5%左右。出现这种情况的原因是什么？

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-9-27 at 14:43 ]

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1楼 2008-09-19 22:25:58

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temedx

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FLY_Phoenix(金币+2):鼓励鼓励

1. 如果你有这个样品的标样，或者很接近，用来做定量校正之后，应该可以很准确，最好可以到千分之几。但对于微量元素，相对误差大些，可能要1％以上。而如果你没有这个样品的对应标样，而只是用了电脑里的数据库定标，那么误差就要大不少。而0.5%这个含量很可能就是背景或者噪音造成的，不可信。

2. 因为EDS收集谱峰是通过接受不同能量的X射线，脉冲计数的，而接受过程中有各种影响因素使这些谱峰有一个背景信号，如果这些信号没有达到一定的计数量，处理器不会认为这是一个信号峰，而只是认定为背景。但这些背景是连续存在的，所以如果你强制指定一个能量位置为信号峰，那么处理器就会把这个地方计算进去，扣除一定的背景信号后，给出一个定量结果，但这个结果通常在千分之几，甚至是负数，这是很不可信的。

个人理解，供您参考。