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m-m

金虫 (著名写手)

[交流] 【请教】电镜高手讲讲SEM的能谱分析的精度

小弟研究金属材料。现请教有关SEM的能普分析的问题
1:用EDS检测合金相中的微量元素准确吗,前提是,这个相很大,而其要检测的元素是稀土元素。比如检测出Y的重量百分比只有0.5%。这个数据可靠吗?
2:当做EDS时,把本来肯定没有的元素加进去了(打能普时记错了样品编号,哈哈),居然检测重量百分比有0.5%左右。出现这种情况的原因是什么?

[ Last edited by FLY_Phoenix on 2008-9-27 at 14:43 ]
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欲得其中,必求其上;欲得其上,必求上上.
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temedx

专家顾问 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by ldy3817 at 2008-9-26 22:30:
昨天看本书,说EDS的精度为6%《Ceramic Materials Science and Engineering>

EDS的精度跟好多方面有关:
1. 是SEM还是TEM测试
2. 是薄样品还是块样
3. 是轻元素还是重元素
4. 是低含量还是高含量
5. 有没有标样定标?
6. 样品所在区域周围的环境,操作电压等

如果都是最佳条件,那么0.5%的精度都能达到。如果都是最差条件,50%的误差也有可能。
Everybodyissobusymindingotherppl'sbusiness,thattheyforgettofindtheirownhappiness.
13楼2008-09-27 08:54:28
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查看全部 15 个回答

ldy3817

铜虫 (小有名气)


SHY31(金币+1,VIP+0):谢谢热心回答
准不准确,关键看你用的是什么样式的SEM,这个更新的也很快
再有你是打得点还是扫的面,你样品的成分均不均匀
有没有考虑某些特征谱线重叠
。。。。。。
这些都关系到你结论的可信度
第二个问题有没有可能是因为元素的特征谱重叠导致SEm参数选择不当而造成
2楼2008-09-19 22:43:42
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m-m

金虫 (著名写手)

谢谢
我是打的点,成分应该还是很均匀的
欲得其中,必求其上;欲得其上,必求上上.
3楼2008-09-19 23:07:16
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m-m

金虫 (著名写手)

第二个问题很专业了
我根本不懂。继续请教啊。在Al。Zn,Mg,La这四个元素中。La和其他元素有重叠吗
sem参数选择不正确又是什么意思
谢谢
欲得其中,必求其上;欲得其上,必求上上.
4楼2008-09-19 23:09:22
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