24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 2595  |  回复: 5
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

zju2015

新虫 (初入文坛)

[求助] 反转胶AZ5214E的厚度 已有1人参与

采用Lift-off工艺镀金属铂膜,电子束蒸发镀0.1um厚的铂膜,请问:
1.大概需要涂多厚的反转胶AZ5214E?1.4um够吗?涂胶机转速设置多少?需要转多久?
2.显影时,是需要购买显影液,还是可以自己配制?如果自己配制,如何配制?
3.如果采用电子束蒸发镀膜的话,是不是就不需要反烘(坚膜)这一步了?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zju2015

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-07 18:14:05
这种用正胶很麻烦,需要采用双层胶工艺,否则只能用反转胶或负胶。
型号和联系方式给你留在短信里了。...

谢谢!
5楼2015-12-08 10:40:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 6 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
zju2015: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-30 15:52:02
1. 足够厚,3000转就ok,30s就ok。
2. 显影液最好买现成的,自己配比较麻烦,可以用NaCO3,NaOH,KOH,但如果不是经常用,配一次要摸一次条件,没必要。
3. 反烘和坚膜是两回事。曝光后的烘烤肯定是要的。

其实并不建议用5214,即贵,工艺还复杂。如果线宽不是很细的话,建议用lift off专用负胶。有什么详细问题可以站内回复我。
2楼2015-11-30 14:32:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zju2015

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-11-30 14:32:31
1. 足够厚,3000转就ok,30s就ok。
2. 显影液最好买现成的,自己配比较麻烦,可以用NaCO3,NaOH,KOH,但如果不是经常用,配一次要摸一次条件,没必要。
3. 反烘和坚膜是两回事。曝光后的烘烤肯定是要的。

其实 ...

非常感谢你的回复!!!
我们要做的是一个薄膜铂电阻,蛇形的铂电阻加金电极,铂电阻条最小线宽5um,最小线间距15um,镀铂厚度0.1um。金焊盘尺寸1.8mm*0.5mm,镀金厚度>1um。
请问:
1、我们这个线宽要求可不可以用正胶做?
2、如果用负胶,请推荐一下负胶的型号
3楼2015-11-30 16:13:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by zju2015 at 2015-11-30 16:13:04
非常感谢你的回复!!!
我们要做的是一个薄膜铂电阻,蛇形的铂电阻加金电极,铂电阻条最小线宽5um,最小线间距15um,镀铂厚度0.1um。金焊盘尺寸1.8mm*0.5mm,镀金厚度>1um。
请问:
1、我们这个线宽要求可不 ...

这种用正胶很麻烦,需要采用双层胶工艺,否则只能用反转胶或负胶。
型号和联系方式给你留在短信里了。
4楼2015-12-07 18:14:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 308求调剂 +6 墨墨漠 2026-03-25 6/300 2026-03-27 09:34 by 不吃魚的貓
[考研] 安徽大学专硕生物与医药专业(086000)324分,英语已过四六级,六级521,求调剂 +3 美味可乐鸡翅 2026-03-26 3/150 2026-03-27 08:46 by hxsm
[考研] 324求调剂 +3 hanamiko 2026-03-26 3/150 2026-03-26 21:00 by sanrepian
[考研] 329求调剂 +5 1() 2026-03-22 5/250 2026-03-26 20:40 by fmesaito
[考研] 303求调剂 +7 元夕元 2026-03-20 8/400 2026-03-26 20:38 by 不吃魚的貓
[考研] 085701环境工程,267求调剂 +4 minht 2026-03-26 4/200 2026-03-26 20:14 by barlinike
[考研] 07化学280分求调剂 +8 722865 2026-03-23 8/400 2026-03-26 20:00 by 不吃魚的貓
[考研] 材料与化工304求B区调剂 +3 邱gl 2026-03-26 6/300 2026-03-26 18:03 by 邱gl
[考研] 332求调剂 +6 032500 2026-03-25 6/300 2026-03-25 22:45 by 418490947
[考研] 机械学硕总分317求调剂!!!! +4 Acaciad 2026-03-25 4/200 2026-03-25 19:59 by hanserlol
[考研] 求调剂 +3 李李不服输 2026-03-25 3/150 2026-03-25 13:03 by cmz0325
[考研] 282求调剂 +3 wcq131415 2026-03-24 3/150 2026-03-25 12:16 by userper
[考研] 085600材料与化工调剂 +9 A-哆啦Z梦 2026-03-23 15/750 2026-03-25 11:18 by Ainin_
[考研] 340求调剂 +5 话梅糖111 2026-03-24 5/250 2026-03-25 06:53 by ilovexiaobin
[考研] 307求调剂 +5 超级伊昂大王 2026-03-24 5/250 2026-03-24 15:46 by 星空星月
[考研] 276求调剂。有半年电池和半年高分子实习经历 +9 材料学257求调剂 2026-03-23 10/500 2026-03-24 07:36 by wangy0907
[考研] 一志愿国科过程所081700,274求调剂 +3 三水研0水立方 2026-03-23 3/150 2026-03-23 23:11 by MajorWen
[考研] 生物学调剂 +5 Surekei 2026-03-21 5/250 2026-03-22 14:39 by tcx007
[考研] 285求调剂 +6 ytter 2026-03-22 6/300 2026-03-22 12:09 by 星空星月
[考研] 求调剂 +3 eation27 2026-03-20 3/150 2026-03-20 19:32 by JourneyLucky
信息提示
请填处理意见