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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 反转胶AZ5214E的厚度
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zju2015

新虫 (初入文坛)

[求助] 反转胶AZ5214E的厚度 已有1人参与

采用Lift-off工艺镀金属铂膜，电子束蒸发镀0.1um厚的铂膜，请问：
1.大概需要涂多厚的反转胶AZ5214E？1.4um够吗？涂胶机转速设置多少？需要转多久？
2.显影时，是需要购买显影液，还是可以自己配制？如果自己配制，如何配制？
3.如果采用电子束蒸发镀膜的话，是不是就不需要反烘（坚膜）这一步了？
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1楼 2015-11-27 15:55:44
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zju2015: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-30 15:52:02
1. 足够厚，3000转就ok，30s就ok。
2. 显影液最好买现成的，自己配比较麻烦，可以用NaCO3，NaOH，KOH，但如果不是经常用，配一次要摸一次条件，没必要。
3. 反烘和坚膜是两回事。曝光后的烘烤肯定是要的。

其实并不建议用5214，即贵，工艺还复杂。如果线宽不是很细的话，建议用lift off专用负胶。有什么详细问题可以站内回复我。
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2楼2015-11-30 14:32:31
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zju2015

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-11-30 14:32:31
1. 足够厚，3000转就ok，30s就ok。
2. 显影液最好买现成的，自己配比较麻烦，可以用NaCO3，NaOH，KOH，但如果不是经常用，配一次要摸一次条件，没必要。
3. 反烘和坚膜是两回事。曝光后的烘烤肯定是要的。

其实 ...

非常感谢你的回复！！！
我们要做的是一个薄膜铂电阻，蛇形的铂电阻加金电极，铂电阻条最小线宽5um，最小线间距15um，镀铂厚度0.1um。金焊盘尺寸1.8mm*0.5mm，镀金厚度>1um。
请问：
1、我们这个线宽要求可不可以用正胶做？
2、如果用负胶，请推荐一下负胶的型号
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3楼2015-11-30 16:13:04
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zju2015 at 2015-11-30 16:13:04
非常感谢你的回复！！！
我们要做的是一个薄膜铂电阻，蛇形的铂电阻加金电极，铂电阻条最小线宽5um，最小线间距15um，镀铂厚度0.1um。金焊盘尺寸1.8mm*0.5mm，镀金厚度>1um。
请问：
1、我们这个线宽要求可不 ...

这种用正胶很麻烦，需要采用双层胶工艺，否则只能用反转胶或负胶。
型号和联系方式给你留在短信里了。
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4楼2015-12-07 18:14:05
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zju2015

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-07 18:14:05
这种用正胶很麻烦，需要采用双层胶工艺，否则只能用反转胶或负胶。
型号和联系方式给你留在短信里了。...

谢谢！
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5楼2015-12-08 10:40:39
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he_lingxiang

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-11-30 14:32:31
1. 足够厚，3000转就ok，30s就ok。
2. 显影液最好买现成的，自己配比较麻烦，可以用NaCO3，NaOH，KOH，但如果不是经常用，配一次要摸一次条件，没必要。
3. 反烘和坚膜是两回事。曝光后的烘烤肯定是要的。

其实 ...

您好，想请教您一下。我们课题组最近在做mems工艺的铂电极，铂的最小有效线宽10um，使用明场版和反转胶，电子束蒸镀，用的是lift-off工艺。蒸镀过程中部分光刻胶被高温烫坏了，使用多小的蒸镀功率能避免这种情况？另外，想问一下还有更好的基于电子束蒸镀的方案，或者其它什么方案么？
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6楼2017-10-17 12:02:00
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