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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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zju2015

新虫 (初入文坛)

[求助] 反转胶AZ5214E的厚度 已有1人参与

采用Lift-off工艺镀金属铂膜,电子束蒸发镀0.1um厚的铂膜,请问:
1.大概需要涂多厚的反转胶AZ5214E?1.4um够吗?涂胶机转速设置多少?需要转多久?
2.显影时,是需要购买显影液,还是可以自己配制?如果自己配制,如何配制?
3.如果采用电子束蒸发镀膜的话,是不是就不需要反烘(坚膜)这一步了?
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by zju2015 at 2015-11-30 16:13:04
非常感谢你的回复!!!
我们要做的是一个薄膜铂电阻,蛇形的铂电阻加金电极,铂电阻条最小线宽5um,最小线间距15um,镀铂厚度0.1um。金焊盘尺寸1.8mm*0.5mm,镀金厚度>1um。
请问:
1、我们这个线宽要求可不 ...

这种用正胶很麻烦,需要采用双层胶工艺,否则只能用反转胶或负胶。
型号和联系方式给你留在短信里了。
4楼2015-12-07 18:14:05
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
zju2015: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-11-30 15:52:02
1. 足够厚,3000转就ok,30s就ok。
2. 显影液最好买现成的,自己配比较麻烦,可以用NaCO3,NaOH,KOH,但如果不是经常用,配一次要摸一次条件,没必要。
3. 反烘和坚膜是两回事。曝光后的烘烤肯定是要的。

其实并不建议用5214,即贵,工艺还复杂。如果线宽不是很细的话,建议用lift off专用负胶。有什么详细问题可以站内回复我。
2楼2015-11-30 14:32:31
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zju2015

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-11-30 14:32:31
1. 足够厚,3000转就ok,30s就ok。
2. 显影液最好买现成的,自己配比较麻烦,可以用NaCO3,NaOH,KOH,但如果不是经常用,配一次要摸一次条件,没必要。
3. 反烘和坚膜是两回事。曝光后的烘烤肯定是要的。

其实 ...

非常感谢你的回复!!!
我们要做的是一个薄膜铂电阻,蛇形的铂电阻加金电极,铂电阻条最小线宽5um,最小线间距15um,镀铂厚度0.1um。金焊盘尺寸1.8mm*0.5mm,镀金厚度>1um。
请问:
1、我们这个线宽要求可不可以用正胶做?
2、如果用负胶,请推荐一下负胶的型号
3楼2015-11-30 16:13:04
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zju2015

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2015-12-07 18:14:05
这种用正胶很麻烦,需要采用双层胶工艺,否则只能用反转胶或负胶。
型号和联系方式给你留在短信里了。...

谢谢!
5楼2015-12-08 10:40:39
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