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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » ITO薄膜可不可以做500度左右的热处理
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橙子飞刀

新虫 (小有名气)

[求助] ITO薄膜可不可以做500度左右的热处理 已有1人参与

我看文献说ITO制备最后的退火步骤都有500度的，难道制备好的ITO不能经受500度的退火么？我看有人说fto才可以，ito不耐热，是不是这样的

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1楼 2015-11-25 20:35:30
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长峰

金虫 (正式写手)
大概有这个说法，fto较ito耐热，但至少是我个人没有见过，有文章明确说明500度会破坏ito性质

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2楼2015-11-25 20:54:06
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橙子飞刀

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 长峰 at 2015-11-25 20:54:06
大概有这个说法，fto较ito耐热，但至少是我个人没有见过，有文章明确说明500度会破坏ito性质

这样啊，有没有文章讲过ito性质被破坏的临界温度之类的，多谢回复

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3楼2015-11-25 20:56:18
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橙子飞刀

新虫 (小有名气)
顶

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4楼2015-11-25 21:44:56
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橙子飞刀

新虫 (小有名气)
求教啊。。。。。。

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5楼2015-11-26 00:20:20
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L-lutt

木虫 (小有名气)
空气中，ITO不要超过300℃，FTO可以到600℃
真空环境，ITO到350没问题，更高的没试过

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6楼2015-11-26 00:43:34
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橙子飞刀

新虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by L-lutt at 2015-11-26 00:43:34
空气中，ITO不要超过300℃，FTO可以到600℃
真空环境，ITO到350没问题，更高的没试过

多谢！

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7楼2015-11-26 08:47:19
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橙子飞刀

新虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by L-lutt at 2015-11-26 00:43:34
空气中，ITO不要超过300℃，FTO可以到600℃
真空环境，ITO到350没问题，更高的没试过

另外请教一下，ITO做xrd的话，由于薄膜比较薄，是不是要做掠入射啊，普通xrd可以么？

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8楼2015-11-26 09:04:29
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
橙子飞刀(穿越千年代发): 金币+3, 根据回答代发 2015-12-06 03:34:46
其实没有临界温度的问题，只是说温度高了以后会导致薄膜性能，导电性不可逆性的变差，到不至于完全崩解一类的
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9楼2015-11-26 13:39:42
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红色1991

新虫 (正式写手)
400du

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10楼2015-11-26 13:40:21
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