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橙子飞刀

新虫 (小有名气)

[求助] ITO薄膜可不可以做500度左右的热处理 已有1人参与

我看文献说ITO制备最后的退火步骤都有500度的,难道制备好的ITO不能经受500度的退火么?我看有人说fto才可以,ito不耐热,是不是这样的

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橙子飞刀

新虫 (小有名气)

引用回帖:
6楼: Originally posted by L-lutt at 2015-11-26 00:43:34
空气中,ITO不要超过300℃,FTO可以到600℃
真空环境,ITO到350没问题,更高的没试过

另外请教一下,ITO做xrd的话,由于薄膜比较薄,是不是要做掠入射啊,普通xrd可以么?

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8楼2015-11-26 09:04:29
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长峰

金虫 (正式写手)

大概有这个说法,fto较ito耐热,但至少是我个人没有见过,有文章明确说明500度会破坏ito性质

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2楼2015-11-25 20:54:06
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橙子飞刀

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 长峰 at 2015-11-25 20:54:06
大概有这个说法,fto较ito耐热,但至少是我个人没有见过,有文章明确说明500度会破坏ito性质

这样啊,有没有文章讲过ito性质被破坏的临界温度之类的,多谢回复

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3楼2015-11-25 20:56:18
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橙子飞刀

新虫 (小有名气)

4楼2015-11-25 21:44:56
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