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橙子飞刀

新虫 (小有名气)

[求助] ITO薄膜可不可以做500度左右的热处理已有1人参与

我看文献说ITO制备最后的退火步骤都有500度的,难道制备好的ITO不能经受500度的退火么?我看有人说fto才可以,ito不耐热,是不是这样的

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L-lutt

木虫 (小有名气)

空气中,ITO不要超过300℃,FTO可以到600℃
真空环境,ITO到350没问题,更高的没试过

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6楼2015-11-26 00:43:34
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