应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 镀膜和涂光刻胶的顺序问题
61/1返回列表
查看: 1833  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

zju2015

新虫 (初入文坛)

[求助] 镀膜和涂光刻胶的顺序问题 已有3人参与

在硅基底上做金属薄膜电阻，
顺序A：先在硅基底上涂光刻胶，然后曝光，显影，最后镀膜，去胶
顺序B：先在硅基底上镀金属膜，然后涂光刻胶，曝光，显影，最后刻蚀，去胶
A比B少了刻蚀步骤，是不是A做出来的效果不如B好啊？请问有没有采用顺序A的？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2015-11-23 21:01:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dorrnm

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zju2015: 金币+2 2015-11-24 15:21:19
a是lift off工艺，学校用的多，优点是省了一步干法刻蚀
b是一般fab用的产品工艺，因为lift off带胶镀膜，会污染膜腔，而这种方法比较干净

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2015-11-24 08:40:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zju2015: 金币+2 2015-11-24 15:21:38
lift off属于比较脏的工艺，fab的控制要求高一些。但是有些产品金属不好刻蚀，fab也会用liftoff
赞一下 回复此楼
3楼2015-11-24 08:57:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zju2015

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dorrnm at 2015-11-24 08:40:11
a是lift off工艺，学校用的多，优点是省了一步干法刻蚀
b是一般fab用的产品工艺，因为lift off带胶镀膜，会污染膜腔，而这种方法比较干净

好的，谢谢！
回复此楼
4楼2015-11-24 15:22:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dorrnm

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by reninhat at 2015-11-24 08:57:51
lift off属于比较脏的工艺，fab的控制要求高一些。但是有些产品金属不好刻蚀，fab也会用liftoff

我想请教一下fab里的lift off工艺，一般做什么的时候会用？是不是有什么地方是先沉积再刻蚀工艺无法取代的？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2015-11-24 18:04:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

PXweng

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★
zju2015: 金币+1 2015-12-03 19:03:35
主要看你的膜厚，有些膜不合适做etch，要看前后工序的搭配，还有就是产品最后特性

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
有事电话说嘛13925288900
6楼2015-12-03 15:50:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 zju2015 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 准备明年的基金了 +7 Tide man 2026-07-27 7/350 2026-08-02 16:43 by gltch
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 cBGhfJFuNMca 2026-08-02 9/450 2026-08-02 16:32 by jHcrHMhbKCFV
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 cBGhfJFuNMca 2026-08-02 15/750 2026-08-02 16:32 by jHcrHMhbKCFV
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 cBGhfJFuNMca 2026-08-02 15/750 2026-08-02 16:31 by jHcrHMhbKCFV
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 cBGhfJFuNMca 2026-08-02 13/650 2026-08-02 16:27 by jHcrHMhbKCFV
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 cBGhfJFuNMca 2026-08-02 15/750 2026-08-02 16:23 by jHcrHMhbKCFV
[考博] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 cBGhfJFuNMca 2026-08-02 19/950 2026-08-02 16:21 by jHcrHMhbKCFV
[基金申请] 面上再次挂了，太难了，躺也躺不了，倦也卷不过，小学校之殇！ +18 低垂的野花 2026-07-31 24/1200 2026-08-02 16:03 by swallowwh
[基金申请] 面上提前没消息，有中的吗 +9 archvillain 2026-08-02 11/550 2026-08-02 15:44 by alexon
[找工作] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 cBGhfJFuNMca 2026-08-02 12/600 2026-08-02 13:43 by jHcrHMhbKCFV
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 cBGhfJFuNMca 2026-08-02 16/800 2026-08-02 13:34 by jHcrHMhbKCFV
[基金申请] 2026年国自然面上资助率 +15 布布和一二 2026-07-30 21/1050 2026-08-02 10:56 by iaeyuan
[教师之家] 基础研究怎么拉横向，学校到款任务越来越多，难以完成 拉横向，都有哪些途径啊 +8 锦衣卫寒战 2026-07-28 10/500 2026-08-02 10:00 by 锦衣卫寒战
[有机交流] 一个有机合成实验室都需要哪些设备？ 50+3 kf2781974 2026-07-31 7/350 2026-08-02 07:59 by 88817753
[基金申请] 微信指数没变化，科研之友没阅读 +14 wangze12014 2026-07-28 18/900 2026-07-31 18:35 by lzchaihuo
[高分子] HXDI做水性聚氨酯乳液，是不是特别容易出渣 15+3 yuyusuv 2026-07-29 3/150 2026-07-31 09:21 by huizingga
[基金申请] 系统今天又提示维护了，估计离放榜不远了 +11 winnerche 2026-07-29 15/750 2026-07-30 23:08 by jnhyjjm
[有机交流] 产物和副产物价值比较 30+4 小汤02 2026-07-27 5/250 2026-07-30 12:44 by czyzsu
[基金申请] 这种情况还有戏吗 +5 drbart 2026-07-27 11/550 2026-07-29 05:50 by drbart
[基金申请] 同事接到电话了，我却没有 +4 1234567wang 2026-07-27 4/200 2026-07-28 10:11 by GOODLUCKER
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭