| 查看: 1710 | 回复: 5 | |||
[求助]
镀膜和涂光刻胶的顺序问题 已有3人参与
|
|
在硅基底上做金属薄膜电阻， 顺序A：先在硅基底上涂光刻胶，然后曝光，显影，最后镀膜，去胶 顺序B：先在硅基底上镀金属膜，然后涂光刻胶，曝光，显影，最后刻蚀，去胶 A比B少了刻蚀步骤，是不是A做出来的效果不如B好啊？请问有没有采用顺序A的？ |
回复此楼» 猜你喜欢
济南大学国家优青课题组 2026 调剂招生来啦
已经有0人回复
-
武汉纺织大学_化学院官方调剂群-院士团队招生-学生自由度高发展好-欢迎各位同学
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有118人回复
-
西华大学 化学 调剂有名额
已经有0人回复
-
上海应用技术大学招生调剂研究生
已经有8人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
南京晓庄学院绿色能源材料团队招生
已经有0人回复
-
北方工业大学储能技术-02电化学储能与氢能方向招收2026级二次调剂学生
已经有0人回复
-
求助WO3.cif文件 对应PDF卡片 43-1035，单斜晶系 , P21/n 。
已经有2人回复
dorrnm
金虫 (小有名气)
- 应助: 35 (小学生)
- 金币: 1155.8
- 红花: 6
- 帖子: 125
- 在线: 54.4小时
- 虫号: 2061367
- 注册: 2012-10-14
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
【答案】应助回帖
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
zju2015: 金币+2 2015-11-24 15:21:19
感谢参与，应助指数 +1
zju2015: 金币+2 2015-11-24 15:21:19
|
a是lift off工艺，学校用的多，优点是省了一步干法刻蚀 b是一般fab用的产品工艺，因为lift off带胶镀膜，会污染膜腔，而这种方法比较干净 发自小木虫Android客户端 |
2楼2015-11-24 08:40:11
reninhat
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 80 (初中生)
- 金币: 6133.8
- 散金: 117
- 红花: 5
- 帖子: 332
- 在线: 428.4小时
- 虫号: 2238571
- 注册: 2013-01-13
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
3楼2015-11-24 08:57:51
4楼2015-11-24 15:22:00
dorrnm
金虫 (小有名气)
- 应助: 35 (小学生)
- 金币: 1155.8
- 红花: 6
- 帖子: 125
- 在线: 54.4小时
- 虫号: 2061367
- 注册: 2012-10-14
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
5楼2015-11-24 18:04:10
6楼2015-12-03 15:50:24
