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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

[交流] 原子层沉积ALD生长的薄膜缺陷多不多?

ALD的动画视频显示生长出来的氧化物薄膜仿佛都是单晶,想求证一下。
单晶or多晶or非晶?
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光棍9527

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
低温下沉积一般都是非晶

发自小木虫Android客户端
6楼2019-10-30 20:59:18
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zhilantian

木虫 (小有名气)

2楼2016-01-19 18:11:18
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hlhlaaaa

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
一般非晶,可以通过后期处理,比如热处理变成晶体
3楼2016-03-15 20:22:32
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

引用回帖:
3楼: Originally posted by hlhlaaaa at 2016-03-15 20:22:32
一般非晶,可以通过后期处理,比如热处理变成晶体

通过长时间的退火吗?晶格重整是个很慢or很快的过程?
4楼2017-05-10 15:07:42
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