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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 原子层沉积ALD生长的薄膜缺陷多不多？
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

[交流] 原子层沉积ALD生长的薄膜缺陷多不多？

ALD的动画视频显示生长出来的氧化物薄膜仿佛都是单晶，想求证一下。
单晶or多晶or非晶？
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1楼2015-11-23 08:37:49
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zhilantian

木虫 (小有名气)
一般都是非晶的

发自小木虫Android客户端
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2楼2016-01-19 18:11:18
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hlhlaaaa

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一般非晶，可以通过后期处理，比如热处理变成晶体
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3楼2016-03-15 20:22:32
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家
引用回帖:
3楼: Originally posted by hlhlaaaa at 2016-03-15 20:22:32
一般非晶，可以通过后期处理，比如热处理变成晶体

通过长时间的退火吗？晶格重整是个很慢or很快的过程？
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4楼2017-05-10 15:07:42
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家
引用回帖:
2楼: Originally posted by zhilantian at 2016-01-19 18:11:18
一般都是非晶的

谢谢
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5楼2019-10-27 16:34:15
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光棍9527

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
低温下沉积一般都是非晶

发自小木虫Android客户端
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6楼2019-10-30 20:59:18
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