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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

[交流] 原子层沉积ALD生长的薄膜缺陷多不多?

ALD的动画视频显示生长出来的氧化物薄膜仿佛都是单晶,想求证一下。
单晶or多晶or非晶?
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hlhlaaaa

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
一般非晶,可以通过后期处理,比如热处理变成晶体
3楼2016-03-15 20:22:32
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