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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 请问PLD和PEALD有哪些区别？相互比较的话优缺点是哪些呢？大虾们出来聊聊吧
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楼1970-01-01 08:00:00
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VDFEPI

木虫 (正式写手)
PLD(pulseD laser deposition) 一种利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上，也可以理解为物理沉淀（PVD），        这种机台我没有玩过。

PEALD(Plasma enhanced atomic layer deposition) 可以理解为化学沉淀CVD，利用plasma energy把gases(pulse的方式进入chamber，即一种gas进入chamber,接着Purge,第二种gas进入chamber,purge, plasma on) 电离成离子，即生成一层薄膜。      这种机台我比较熟悉，我玩过ASM 的PEALD，
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3楼2015-11-23 16:14:47
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VDFEPI

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
PLD(pulseD laser deposition) 一种利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上，也可以理解为物理沉淀（PVD），        这种机台我没有玩过。

PEALD(Plasma enhanced atomic layer deposition) 可以理解为化学沉淀CVD，利用plasma energy把gases(pulse的方式进入chamber，即一种gas进入chamber,接着Purge,第二种gas进入chamber,purge, plasma on) 电离成离子，即生成一层薄膜。      这种机台我比较熟悉，我玩过ASM 的PEALD，
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2楼2015-11-23 16:14:31
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Jimo001

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
就像你所说的物理和化学方法的区别。
优缺点要针对不同的对象，有些并不适用
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4楼2015-11-30 09:34:06
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