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请问PLD和PEALD有哪些区别？相互比较的话优缺点是哪些呢？大虾们出来聊聊吧 已有2人参与
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如题 |
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PLD(pulseD laser deposition) 一种利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上，也可以理解为物理沉淀（PVD）， 这种机台我没有玩过。 PEALD(Plasma enhanced atomic layer deposition) 可以理解为化学沉淀CVD，利用plasma energy把gases(pulse的方式进入chamber，即一种gas进入chamber,接着Purge,第二种gas进入chamber,purge, plasma on) 电离成离子，即生成一层薄膜。 这种机台我比较熟悉，我玩过ASM 的PEALD， |
2楼2015-11-23 16:14:31
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3楼2015-11-23 16:14:47
4楼2015-11-30 09:34:06