24小时热门版块排行榜

返回列表

467111170

银虫 (初入文坛)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 394.6
红花: 1
帖子: 39
在线: 56.6小时
虫号: 3997542
注册: 2015-07-30
性别: GG
专业: 治则与治法

[交流] 请问PLD和PEALD有哪些区别？相互比较的话优缺点是哪些呢？大虾们出来聊聊吧已有2人参与

如题

回复此楼

» 猜你喜欢

关于核磁制样已经有5人回复
说走就走，走到哪便是哪已经有10人回复
亲密关系已经有13人回复
27秋申博自荐已经有4人回复
郑州大学申博已经有8人回复

1楼 2015-11-17 13:27:06

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

VDFEPI

木虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 3772.3
红花: 1
帖子: 445
在线: 121.2小时
虫号: 2711465
注册: 2013-10-10
性别: GG
专业: 半导体电子器件

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

PLD(pulseD laser deposition) 一种利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上，也可以理解为物理沉淀（PVD），这种机台我没有玩过。

PEALD(Plasma enhanced atomic layer deposition) 可以理解为化学沉淀CVD，利用plasma energy把gases(pulse的方式进入chamber，即一种gas进入chamber,接着Purge,第二种gas进入chamber,purge, plasma on) 电离成离子，即生成一层薄膜。这种机台我比较熟悉，我玩过ASM 的PEALD，