| 查看: 2942 | 回复: 3 | |||
[交流]
请问PLD和PEALD有哪些区别？相互比较的话优缺点是哪些呢？大虾们出来聊聊吧 已有2人参与
|
如题 |
回复此楼» 猜你喜欢
最近几年招的学生写论文不引自己组发的文章
已经有11人回复
-
写了一篇“相变储能技术在冷库中应用”的论文，论文内容以实验为主，投什么期刊合适？
已经有4人回复
-
需要合成515-64-0，50g，能接单的留言
已经有3人回复
-
中科院杭州医学所招收博士生一名（生物分析化学、药物递送）
已经有3人回复
-
临港实验室与上科大联培博士招生1名
已经有8人回复
-
想换工作。大多数高校都是 评职称时 认可5年内在原单位取得的成果吗？
已经有4人回复
-
带资进组求博导收留
已经有9人回复
VDFEPI
木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3772.3
- 红花: 1
- 帖子: 445
- 在线: 121.2小时
- 虫号: 2711465
- 注册: 2013-10-10
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
PLD(pulseD laser deposition) 一种利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上，也可以理解为物理沉淀（PVD）， 这种机台我没有玩过。 PEALD(Plasma enhanced atomic layer deposition) 可以理解为化学沉淀CVD，利用plasma energy把gases(pulse的方式进入chamber，即一种gas进入chamber,接着Purge,第二种gas进入chamber,purge, plasma on) 电离成离子，即生成一层薄膜。 这种机台我比较熟悉，我玩过ASM 的PEALD， |
2楼2015-11-23 16:14:31
VDFEPI
木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3772.3
- 红花: 1
- 帖子: 445
- 在线: 121.2小时
- 虫号: 2711465
- 注册: 2013-10-10
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
3楼2015-11-23 16:14:47
4楼2015-11-30 09:34:06