| 查看: 2922 | 回复: 3 | |||
[交流]
请问PLD和PEALD有哪些区别？相互比较的话优缺点是哪些呢？大虾们出来聊聊吧已有2人参与
|
如题 |
回复此楼» 猜你喜欢
导师想让我从独立一作变成了共一第一
已经有9人回复
-
博士读完未来一定会好吗
已经有23人回复
-
到新单位后，换了新的研究方向，没有团队，持续积累2区以上论文，能申请到面上吗
已经有11人回复
-
读博
已经有4人回复
-
JMPT 期刊投稿流程
已经有4人回复
-
心脉受损
已经有5人回复
-
Springer期刊投稿求助
已经有4人回复
-
小论文投稿
已经有3人回复
-
申请2026年博士
已经有6人回复
VDFEPI
木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3772.3
- 红花: 1
- 帖子: 445
- 在线: 121.2小时
- 虫号: 2711465
- 注册: 2013-10-10
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
PLD(pulseD laser deposition) 一种利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上，也可以理解为物理沉淀（PVD）， 这种机台我没有玩过。 PEALD(Plasma enhanced atomic layer deposition) 可以理解为化学沉淀CVD，利用plasma energy把gases(pulse的方式进入chamber，即一种gas进入chamber,接着Purge,第二种gas进入chamber,purge, plasma on) 电离成离子，即生成一层薄膜。 这种机台我比较熟悉，我玩过ASM 的PEALD， |
2楼2015-11-23 16:14:31
VDFEPI
木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 3772.3
- 红花: 1
- 帖子: 445
- 在线: 121.2小时
- 虫号: 2711465
- 注册: 2013-10-10
- 性别: GG
- 专业: 半导体电子器件
3楼2015-11-23 16:14:47
4楼2015-11-30 09:34:06