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lq2111919

新虫 (初入文坛)

[交流] 求助做浓度梯度应该怎么设计 已有2人参与

目前在做磁控溅射镀丹化铝钛硅薄膜,目前已经用硬度试出来做好的氮气浓度在18-20SCCM,接下来老师让我做氮气梯度的,就是比如镀2浓度的5分钟 4浓度的5分钟 然后6,8,10左后到18的一个小时或者其他时间,老师让我找找最优梯度,我觉得这有太多种可能性了,样品的磨和抛光也很费时间,有没有人能指点一下应该怎么设计浓度梯度比较合理。就是说246810都一个时间呢 还是逐渐增加 最后浓度多长时间好
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lq2111919

新虫 (初入文坛)

不知道能不能顶贴诶- -
7楼2015-11-15 16:23:37
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ustb301b

新虫 (小有名气)


2楼2015-11-14 12:51:09
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匿名

用户注销 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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3楼2015-11-14 12:53:17
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lq2111919

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by xy_yancheng at 2015-11-14 12:53:17
18—20 SCCM 是气体流量吧

是的 氮气流量 氩气是30  一般我看论文里面用的是分压 但是实验室机器的压强显示不是很准 有波动 一般还是记录浓度。最后改成分压
4楼2015-11-14 14:50:18
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