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求助做浓度梯度应该怎么设计 已有2人参与
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| 目前在做磁控溅射镀丹化铝钛硅薄膜，目前已经用硬度试出来做好的氮气浓度在18-20SCCM,接下来老师让我做氮气梯度的，就是比如镀2浓度的5分钟 4浓度的5分钟 然后6,8,10左后到18的一个小时或者其他时间，老师让我找找最优梯度，我觉得这有太多种可能性了，样品的磨和抛光也很费时间，有没有人能指点一下应该怎么设计浓度梯度比较合理。就是说246810都一个时间呢 还是逐渐增加 最后浓度多长时间好 |
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2楼2015-11-14 12:51:09
匿名
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3楼2015-11-14 12:53:17
4楼2015-11-14 14:50:18
5楼2015-11-14 14:51:57
6楼2015-11-15 00:15:20
7楼2015-11-15 16:23:37