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【求助】关于硅单晶片的解理。
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本人想用光学显微镜看 硅片的断面 ,也就是 cross-sectional,没拼错吧? 但是现在遇到一个问题,硅片太厚,解理不开,请问有什么办法吗? 解理的话,是沿着哪个面更容易解理呢? 如果解理不开,能否用机械方法锯开,然后抛光,观察? PS:硅晶体是(100)向的。 谢谢,万分感谢! |
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