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【求助】关于硅单晶片的解理。
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本人想用光学显微镜看 硅片的断面 ，也就是 cross-sectional，没拼错吧？ 但是现在遇到一个问题，硅片太厚，解理不开，请问有什么办法吗？ 解理的话，是沿着哪个面更容易解理呢？ 如果解理不开，能否用机械方法锯开，然后抛光，观察？ PS：硅晶体是(100)向的。 谢谢，万分感谢！ |
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abdulah
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