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Gavin6152金虫 (小有名气)
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[求助]
磁控共溅射Cu-Ta薄膜,制得的薄膜大片剥落,求解 已有15人参与
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si衬底室温磁控共溅射Cu-Ta薄膜，功率为200W/100W，沉积40min，制得的薄膜大片剥落，有人了解是怎么回事吗？难道是膜太厚？Cu/Ta功率为50W/250W时没出现剥落现象 279474988333634564.jpg |
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2楼2015-11-11 22:16:59
xhj543240343
金虫 (著名写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
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- 专业: 冶金物理化学与冶金原理
3楼2015-11-11 22:24:30
4楼2015-11-11 22:28:13
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Gavin6152(金币+1): 谢谢参与
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5楼2015-11-11 22:28:30
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Gavin6152(金币+1): 谢谢参与
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| 哦 ！ |
6楼2015-11-11 22:28:41
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Gavin6152(金币+1): 谢谢参与
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 本帖仅楼主可见 |
7楼2015-11-11 22:31:00
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Gavin6152(金币+1): 谢谢参与
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8楼2015-11-11 22:31:13
9楼2015-11-11 22:32:56
10楼2015-11-11 22:32:57
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