| 查看: 1107 | 回复: 2 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
勿忘心安里铁虫 (小有名气)
|
[交流]
有关离子刻蚀机（北京创世威纳公司的MIBE-150B全自动离子刻蚀机）的刻蚀参数问题 已有1人参与
|
||
如图，设备趋于稳定时，考夫曼离子源会出现实际值 中和电流小于阴极电流（但设定的中和明显要大于阴极电流），请问为何会出现此问题？还有加速极电流易超过20mA,怎么解决？谢谢给出合适的建议。 IMG_20151107_114155.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
国社科系统bug了，是不是要放榜了？
已经有9人回复
-
申博发邮件
已经有9人回复
-
各位大神，目前国内有哪些比较好用的逆合成软件？
已经有9人回复
-
上海工程技术大学激光智能制造课题组｜2027级博士研究生招生公告
已经有8人回复
-
上海工程技术大学激光智能制造课题组招收博士研究生
已经有8人回复
勿忘心安里
铁虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1351.2
- 散金: 105
- 红花: 2
- 帖子: 193
- 在线: 59.2小时
- 虫号: 3832540
- 注册: 2015-04-25
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2015-11-10 10:39:28