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勿忘心安里铁虫 (小有名气)
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[交流]
有关离子刻蚀机（北京创世威纳公司的MIBE-150B全自动离子刻蚀机）的刻蚀参数问题 已有1人参与
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如图，设备趋于稳定时，考夫曼离子源会出现实际值 中和电流小于阴极电流（但设定的中和明显要大于阴极电流），请问为何会出现此问题？还有加速极电流易超过20mA,怎么解决？谢谢给出合适的建议。 IMG_20151107_114155.jpg |
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2楼2015-11-09 11:07:41
勿忘心安里
铁虫 (小有名气)
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3楼2015-11-10 10:39:28