| 查看: 991 | 回复: 2 | |||
勿忘心安里铁虫 (小有名气)
|
[交流]
有关离子刻蚀机（北京创世威纳公司的MIBE-150B全自动离子刻蚀机）的刻蚀参数问题 已有1人参与
|
如图，设备趋于稳定时，考夫曼离子源会出现实际值 中和电流小于阴极电流（但设定的中和明显要大于阴极电流），请问为何会出现此问题？还有加速极电流易超过20mA,怎么解决？谢谢给出合适的建议。 IMG_20151107_114155.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
假如你的研究生提出不合理要求
已经有10人回复
-
萌生出自己或许不适合搞科研的想法，现在跑or等等看？
已经有4人回复
-
Materials Today Chemistry审稿周期
已经有4人回复
-
参与限项
已经有3人回复
-
实验室接单子
已经有4人回复
-
全日制（定向）博士
已经有4人回复
-
对氯苯硼酸纯化
已经有3人回复
-
求助:我三月中下旬出站，青基依托单位怎么办？
已经有12人回复
-
所感
已经有4人回复
-
要不要辞职读博？
已经有7人回复
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2015-11-09 11:07:41
勿忘心安里
铁虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1351.2
- 散金: 105
- 红花: 2
- 帖子: 193
- 在线: 59.2小时
- 虫号: 3832540
- 注册: 2015-04-25
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
3楼2015-11-10 10:39:28