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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 石墨烯转移中铜的刻蚀问题
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shg2015

新虫 (初入文坛)

[交流] 石墨烯转移中铜的刻蚀问题 已有4人参与

方法是湿法刻蚀，买的石墨烯PMMA是涂好的。我使用的是FeCl3刻蚀铜，在培养皿里配FeCl3溶液，一般我用的FeCl3量比较大，泡上一天后，铜基本被刻蚀掉，溶液仍为明显红褐色，之后在等离子水中反复清洗用衬底去捞。因为最终的转移效果不是很理想，想请问下FeCl3溶液的浓度影响大不大，还有如果使用FeCl3溶液和盐酸的混合溶液刻蚀是不是更好?因为强酸性会抑制FeCl3的水解,或者在FeCl3刻蚀之后用盐酸清洗？   
最后请问下大家一般在FeCl3溶液里面泡多久就ok了呀？？  多谢！ 刚开始做石墨烯的转移
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1楼 2015-11-07 13:38:28
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zctf

铁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
8楼: Originally posted by 101719 at 2017-03-02 06:38:49
多少mlfecl3中加10ml浓盐酸呢？谢谢
...

不需要精准，我都随手加的，加一点刻蚀速度会快很多很多
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劣质反应釜。。。
9楼2017-03-26 15:40:32
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丫丫smile

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
一般泡3h就没了，我的是氯化铁里加盐酸的
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2楼2015-11-18 09:44:22
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101719

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by ishemd at 2015-11-20 11:02:30
1、FeCl3溶液一般控制在0.8到1mol/l之间，浓度影响不大。 2、浸泡一般持续12个小时就差不多了。3、至于把盐酸加到FeCl3溶液里面，从理论上看，应该没有什么效果，你自己可以试试。由于不清楚你说的不理想的情况是怎 ...

最近练习转移石墨烯，能否交流一下，

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2016-06-29 20:06:10
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zctf

铁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我一般0.5mol/L FeCl3+10mL 盐酸，泡一下午大约4个多小时就够了
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劣质反应釜。。。
5楼2016-06-30 09:12:51
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