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石墨烯转移中铜的刻蚀问题 已有4人参与
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方法是湿法刻蚀,买的石墨烯PMMA是涂好的。我使用的是FeCl3刻蚀铜,在培养皿里配FeCl3溶液,一般我用的FeCl3量比较大,泡上一天后,铜基本被刻蚀掉,溶液仍为明显红褐色,之后在等离子水中反复清洗用衬底去捞。因为最终的转移效果不是很理想,想请问下FeCl3溶液的浓度影响大不大,还有如果使用FeCl3溶液和盐酸的混合溶液刻蚀是不是更好?因为强酸性会抑制FeCl3的水解,或者在FeCl3刻蚀之后用盐酸清洗? 最后请问下大家一般在FeCl3溶液里面泡多久就ok了呀?? 多谢! 刚开始做石墨烯的转移 |
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