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石墨烯转移中铜的刻蚀问题 已有4人参与
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方法是湿法刻蚀，买的石墨烯PMMA是涂好的。我使用的是FeCl3刻蚀铜，在培养皿里配FeCl3溶液，一般我用的FeCl3量比较大，泡上一天后，铜基本被刻蚀掉，溶液仍为明显红褐色，之后在等离子水中反复清洗用衬底去捞。因为最终的转移效果不是很理想，想请问下FeCl3溶液的浓度影响大不大，还有如果使用FeCl3溶液和盐酸的混合溶液刻蚀是不是更好?因为强酸性会抑制FeCl3的水解,或者在FeCl3刻蚀之后用盐酸清洗？ 最后请问下大家一般在FeCl3溶液里面泡多久就ok了呀？？ 多谢！ 刚开始做石墨烯的转移 |
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 graphene2016-2018 |
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