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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 磁控溅射可以溅射非平面的样品吗？
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1002450586

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射可以溅射非平面的样品吗？ 已有3人参与

我想在管状镂空样品的表面镀金属膜（直径3mm左右），想用磁控溅射，这种非平面的样品可以用磁控溅射吗？或者有没有其他PVD方法推荐呢？求大神解答~~~~
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1楼 2015-10-30 11:19:25
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jhwang2010

银虫 (正式写手)
不不， 内表面是可以的，你可以查查全方位离子注入与沉积方面的文献，这是一种非视线技术，可以很好解决你说的问题

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17楼2015-11-02 17:17:45
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查看全部 22 个回答

jhwang2010

银虫 (正式写手)
可以用离子注入与沉积的方法

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3楼2015-10-30 19:27:12
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
1002450586: 金币+5 2015-11-02 16:15:06
磁控濺射需要靶材颗粒能够直接打碰到材料的表面而成膜。而楼主如此细的管子的内表面显然不易被外来的靶材颗粒打碰到。因此估计很难镀。能否考虑电镀或化学镀呢？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2015-10-31 06:31:16
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9412B

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
1002450586: 金币+1 2015-11-02 16:14:15
利用辉光放电，辉光放电可以覆盖全部表面。即使盲孔也是可以溅射的
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5楼2015-11-01 13:24:31
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