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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 磁控溅射可以溅射非平面的样品吗？
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1002450586

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射可以溅射非平面的样品吗？ 已有3人参与

我想在管状镂空样品的表面镀金属膜（直径3mm左右），想用磁控溅射，这种非平面的样品可以用磁控溅射吗？或者有没有其他PVD方法推荐呢？求大神解答~~~~
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1楼 2015-10-30 11:19:25
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1002450586

新虫 (初入文坛)
求解答啊
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2楼2015-10-30 14:53:56
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jhwang2010

银虫 (正式写手)
可以用离子注入与沉积的方法

发自小木虫Android客户端
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3楼2015-10-30 19:27:12
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
1002450586: 金币+5 2015-11-02 16:15:06
磁控濺射需要靶材颗粒能够直接打碰到材料的表面而成膜。而楼主如此细的管子的内表面显然不易被外来的靶材颗粒打碰到。因此估计很难镀。能否考虑电镀或化学镀呢？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2015-10-31 06:31:16
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9412B

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
1002450586: 金币+1 2015-11-02 16:14:15
利用辉光放电，辉光放电可以覆盖全部表面。即使盲孔也是可以溅射的
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5楼2015-11-01 13:24:31
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
1002450586: 金币+4 2015-11-02 16:15:14
应该是可以的，只是可能或导致镀层厚度不均；有兴趣的话把样拿来，我给你做做看。
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Jackofalltrades,Butspecialofnone.
6楼2015-11-02 11:38:50
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hs_77

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

另外这种形状不规则的，用化学镀可以导致厚度均匀，我这里也有化学镀设备，你有兴趣的话，我也可以给你试试。
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Jackofalltrades,Butspecialofnone.
7楼2015-11-02 11:40:28
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1002450586

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by jhwang2010 at 2015-10-30 19:27:12
可以用离子注入与沉积的方法

我咨询了做离子注入沉积的，内表面可能镀不到
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8楼2015-11-02 14:04:55
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1002450586

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by peterflyer at 2015-10-31 06:31:16
磁控濺射需要靶材颗粒能够直接打碰到材料的表面而成膜。而楼主如此细的管子的内表面显然不易被外来的靶材颗粒打碰到。因此估计很难镀。能否考虑电镀或化学镀呢？
...

对，内表面是个问题，电镀我也准备做一下，另外，想请教一下，化学的方法镀膜，温度在300℃以下的还有哪些方法可能合适呢？
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9楼2015-11-02 14:07:11
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1002450586

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 9412B at 2015-11-01 13:24:31
利用辉光放电，辉光放电可以覆盖全部表面。即使盲孔也是可以溅射的

我的样品可能内表面还是镀不到啊
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10楼2015-11-02 14:08:42
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